确定 提示对话框 退出 工艺报警 继续 中止 选择菜单文件 选择 关闭 器件名称: 单位: 最大值: 默认值: 反馈值: 设定值: 设置 取消 设定元器件 事件列表 事件详细信息 类型 时间 描述 查询条件 开始时间 结束时间 查询类型 报警 警告 信息 更多条件 关键字 查询 导出 类型 时间 系统 内容 查询结果： 条记录 选择全部 清除选择 默认选择 数据 颜色 宽度 显示左侧数据项      自动缩放 名称：{0} 设备号：{1} 默认值：{2} 设定值：{3} 当前状态：{4} {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {4} {0}：{1} 设备号：{2} 量程：{3} {4} 设定值：{5} {4} 反馈值：{6} {4} 误差：{7}% 状态：{8} {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {4} {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {4} 误差：{5} {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {4} 误差：{5} {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {0}：{1} 设备号：{2} 输出功率：{3} w 反射功率：{4} w 设定值：{5} w {0}：{1} 设备号：{2} 输出功率：{3} w 电压：{4} w 电流：{5} 设定值：{6} w {0}：{1} 设备号：{2} 反馈值：{3} {4} 误差：{5} 状态：{6} {0}：{1} 设备号：{2} 工作模式：{3} 位置：{4} 压力：{5} mTorr {0}：{1} 设备号：{2} 量程：{3} {4} 设定值：{5} {4} 反馈值：{6} {4} 误差：{7}% 状态：{8} 打开阀门 关闭阀门 氮气吹扫 冷却水