text/microsoft-resx
2.0
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
初始化
初始化系统
终止
立即终止当前任务
工艺监视器
打开工艺实时数据监视器
清料
将设备内的所有晶圆传送回晶圆盒
操作
托盘
剩余时间
Buffer信息
运行模式
自动
切换到自动运行模式
手动
切换到手动运行模式
Load腔信息
PM1腔信息
PM2腔信息
UnLoad腔信息
晶圆盒
新建
在晶圆盒中创建晶圆信息
创建
在卡匣中创建托盘信息
清除
清除
清除卡匣中的托盘信息
清除晶圆盒中的晶圆信息
扫描
扫描晶圆盒
扫描
扫描托盘卡匣