text/microsoft-resx 2.0 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 初始化 初始化系统 终止 立即终止当前任务 工艺监视器 打开工艺实时数据监视器 清料 将设备内的所有晶圆传送回晶圆盒 操作 托盘 剩余时间 Buffer信息 运行模式 自动 切换到自动运行模式 手动 切换到手动运行模式 Load腔信息 PM1腔信息 PM2腔信息 UnLoad腔信息 晶圆盒 新建 在晶圆盒中创建晶圆信息 创建 在卡匣中创建托盘信息 清除 清除 清除卡匣中的托盘信息 清除晶圆盒中的晶圆信息 扫描 扫描晶圆盒 扫描 扫描托盘卡匣