text/microsoft-resx
2.0
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
初始化
初始化系统
终止
立即终止当前任务
工艺监视器
打开工艺实时数据监视器
清料
将设备内的所有晶圆传送回晶圆盒
操作
托盘
剩余时间
Buffer信息
运行模式
自动
切换到自动运行模式
手动
切换到手动运行模式
Load腔信息
PM1腔信息
PM2腔信息
UnLoad腔信息
晶圆盒
新建
在晶圆盒中创建晶圆信息
创建
在卡匣中创建托盘信息
清除
清除
清除卡匣中的托盘信息
清除晶圆盒中的晶圆信息
扫描
扫描晶圆盒
扫描
扫描托盘卡匣
状态
配方
工艺时长(秒)
总时长(秒)
压力(mbar)
隔热罩
晶圆举升
晶圆夹持
冷却时间(秒)
温度(℃)
空闲(无Job)
空闲(分配Job)
正在工艺
工艺完成
故障
警告
托盘夹持
批次号
作业程序
作业名
作业状态
选择
选择程序
全部分配
将选择的作业程序分配到到所有晶圆
全部重置
重置所有晶圆的作业程序
创建
创建作业
终止
终止正在执行的作业
启动
启动作业
暂停
暂停正在执行的作业
恢复
恢复暂停的作业
停止
停止当前正在执行的作业
分配
将选择的作业程序分配到当前晶圆
移除
移除当前晶圆的作业程序
单环记录
单环记录查询
整体记录
整体记录查询
序号
标签
名称
上限(um)
当前值(um)
PM腔体
创建时间
托盘膜厚历史数据
腔体膜厚历史数据
作业分配
作业列表