text/microsoft-resx
1.3
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
启动
启动工艺
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配方
配方
步骤时长(秒)
步骤名称
配方时长(秒)
摩尔
流量
气源
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名称
沉积(m³)
充气(m³)
总计(m³)
时间范围
功率(kWh)
大气空闲
切换到空闲状态并保持在大气压下
真空空闲
切换到空闲状态并保持在真空下
工艺空闲
切换到空闲模式并准备好运行工艺
切换TCS
切换到TCS
切换TMA
切换到TMA
隔离
腔体隔离
漏气检查
腔体漏气检查