text/microsoft-resx
1.3
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
喷淋头温度(U1)
顶部温度(U2)
中部温度1(U3)
中部温度2(U4)
下部温度(U5)
底板温度(U6)
电源模块1温度(U7)
电源模块2温度(U8)
管道温度(U9)
电极温度(U10)
TM泵温度(U11)
TM顶部温度(U12)
预留(U13)
变压器温度(U14)
预留(U13)
TMA管道温度(ATC-1)
TCS管道温度(ATC-2)
内圈管道温度(ATC-3)
外圈管道温度(ATC-4)
喷淋头管道温度(ATC-5)
漏检管道温度(ATC-6)
管道1温度(U6)
管道2温度(U9)
预留(U11)
预留(U12)
预留(U12)
预留(U13)
TM泵温度(U11)