text/microsoft-resx 2.0 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=4.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 初始化 初始化系统 终止 立即终止当前任务 工艺监视器 打开工艺实时数据监视器 清料 将设备内的所有晶圆传送回晶圆盒 操作 托盘 剩余时间 Buffer信息 运行模式 自动 切换到自动运行模式 手动 切换到手动运行模式 Load腔信息 PM1腔信息 PM2腔信息 UnLoad腔信息 晶圆盒 新建 在晶圆盒中创建晶圆信息 创建 在卡匣中创建托盘信息 清除 清除 清除卡匣中的托盘信息 清除晶圆盒中的晶圆信息 扫描 扫描晶圆盒 扫描 扫描托盘卡匣 状态 配方 工艺时长(秒) 总时长(秒) 压力(mbar) 隔热罩 晶圆举升 晶圆夹持 冷却时间(秒) 温度(℃) 空闲(无Job) 空闲(分配Job) 正在工艺 工艺完成 故障 警告 托盘夹持 批次号 作业程序 作业名 作业状态 选择 选择程序 全部分配 将选择的作业程序分配到到所有晶圆 全部重置 重置所有晶圆的作业程序 创建 创建作业 终止 终止正在执行的作业 启动 启动作业 暂停 暂停正在执行的作业 恢复 恢复暂停的作业 停止 停止当前正在执行的作业 分配 将选择的作业程序分配到当前晶圆 移除 移除当前晶圆的作业程序 单环记录 单环记录查询 整体记录 整体记录查询 序号 标签 名称 上限(um) 当前值(um) PM腔体 创建时间 托盘膜厚历史数据 腔体膜厚历史数据 作业分配 作业列表