text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 启动 启动工艺 跳步 跳过当前步骤 当前步骤结束后暂停工艺 暂停 继续 继续工艺 终止 终止工艺 监视器 打开试试工艺数据监视器 选择 选择配方 配方 配方 步骤时长(秒) 步骤名称 配方时长(秒) 摩尔 流量 气源 步骤 锁定 锁定配方 在线更新 立即更新正在工艺的配方 气体流量统计 气体流量历史查询 名称 沉积(m³) 充气(m³) 总计(m³) 时间范围 功率(kWh) 大气空闲 切换到空闲状态并保持在大气压下 真空空闲 切换到空闲状态并保持在真空下 工艺空闲 切换到空闲模式并准备好运行工艺