text/microsoft-resx
1.3
System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089
启动
启动工艺
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暂停
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继续工艺
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终止工艺
监视器
打开试试工艺数据监视器
选择
选择配方
配方
配方
步骤时长(秒)
步骤名称
配方时长(秒)
摩尔
流量
气源
步骤
锁定
锁定配方
在线更新
立即更新正在工艺的配方
气体流量统计
气体流量历史查询
名称
沉积(m³)
充气(m³)
总计(m³)
时间范围
功率(kWh)
大气空闲
切换到空闲状态并保持在大气压下
真空空闲
切换到空闲状态并保持在真空下
工艺空闲
切换到空闲模式并准备好运行工艺
更换TCS
更换到TCS
更换TMA
更换到TMA
腔体隔离
腔体隔离
设备漏检
腔体漏气检查
腔体状态
腔体服务
感应器
水冷系统
加热丝监控
腔体盖子关闭
腔体闸板阀关闭
气柜门关闭
气柜漏水
电柜漏水
腔体漏水
ATM压力超上限
VAC压力
水温1
水温2
电阻 (Ω)
底部电阻1 (Ω)
底部电阻2 (Ω)
底部电阻3 (Ω)
侧壁电阻1 (Ω)
侧壁电阻2 (Ω)
侧壁电阻3 (Ω)
MFC设置
腔体压力(mbar)
流量(sccm)
渐变时间(s)
基准MFC
腔体压差
压力1(mbar)
压力2(mbar)
压力3(mbar)
压力4(mbar)
腔体平均压差(mbar)
MFC实际流量(sccm)
MFC设定流量(sccm)
设定流量 (sccm)
反应腔温度
腔体体积
压力记录时间间隔 (s)
压力 (mbar)
设定为标准MFC
MFC量程 (sccm)
偏差
ROR测试结果
还原
放弃更改并恢复到修改前的基准配方
基准配方
保存
保存对基准配方的更改
累计气体流量统计 (sccm)