text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.0.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 左晶圆盒 右晶圆盒 自动 手动 托盘卡匣 未初始化 初始化中 空闲 初始化中 故障 寻边 取料 放料 吹扫 抽气 升起 降下 未知 夹紧 张开 张开 配方 程序 自动空闲 自动运行 关机 空闲(大气压) 空闲(真空) 空闲(工艺) 切换空闲(大气压) 切换空闲(真空) 切换空闲(工艺)