text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 运转 概述 图层 平台 主框架 EFEM 设备 IO列表 漏检 编辑 传盘流程 配方 顺序设置 配方差异 数据记录 操作日志 工序记录 实时图表 晶圆记录 历史数据 配方曲线 设置 配置 账户 权限 报警 腔体1 主界面 工序 IO列表 移动 加热 MFC流量 Mfc速率测试 气柜测试 腔体2