27 lines
1.1 KiB
C#
27 lines
1.1 KiB
C#
using MECF.Framework.Common.Equipment;
|
||
|
||
namespace MECF.Framework.UI.Client.RecipeEditorLib.RecipeModel
|
||
{
|
||
/// <summary>
|
||
/// Recipe工艺步骤气体流量计算器接口。
|
||
/// </summary>
|
||
public interface IRecipeGasFlowCalculator
|
||
{
|
||
/// <summary>
|
||
/// 计算指定工艺步骤的气体流量。
|
||
/// </summary>
|
||
/// <param name="step">工艺步骤对象。</param>
|
||
/// <param name="chamberName">
|
||
/// 当前配方步骤所属反应腔的名称,可用的名称请参考<see cref="ModuleName"/>。
|
||
/// <remarks>
|
||
/// 为什么需要传入反应腔名称?
|
||
/// <br/>
|
||
/// 计算Vent Flow时,需要使用TCS、TMA的气体流量参数;而上述两个流量的计算需要使用
|
||
/// 系统配置中PM.{chamberName}.Efficiency.TCS-Eff或TMA-Eff的配置值。因此计算
|
||
/// 配方气体流量时需要传入反应腔名称以获取这两个配置参数的数值。
|
||
/// </remarks>
|
||
/// </param>
|
||
void Calculate(RecipeStep step, string chamberName);
|
||
}
|
||
}
|