81 lines
3.5 KiB
C#
81 lines
3.5 KiB
C#
using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.Core.Attributes;
|
|
using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.Core.Interfaces;
|
|
|
|
namespace MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Robots.HwinRobort.Errors
|
|
{
|
|
public class HiwinRobotSensorErrors : IBitTypeClass
|
|
{
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(201) 机械臂取放晶圆前，真空状态已被启动。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(0, "ERROR(201) 机械臂取放晶圆前，真空状态已被启动", true)]
|
|
public bool Error201 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(202) 机械臂取放晶圆后，真空状态无法被产生或接触。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(1, "ERROR(202) 机械臂取放晶圆后，真空状态无法被产生或接触", true)]
|
|
public bool Error202 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(203) 机械臂Z轴硬件上极限开关被触发。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(2, "ERROR(203) 机械臂Z轴硬件上极限开关被触发", true)]
|
|
public bool Error203 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(204) 机械臂Z轴硬件下极限开关被触发。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(3, "ERROR(204) 机械臂Z轴硬件下极限开关被触发", true)]
|
|
public bool Error204 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(205) 机械臂取晶圆前或放晶圆后，光传感器状态已被启动。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(4, "ERROR(205) 机械臂取晶圆前或放晶圆后，光传感器状态已被启动", true)]
|
|
public bool Error205 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(206) 机械臂取晶圆后或放晶圆前，光传感器状态已被解除。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(5, "ERROR(206) 机械臂取晶圆后或放晶圆前，光传感器状态已被解除", true)]
|
|
public bool Error206 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(207) 机械臂磁簧开关为伸出状态，无法被缩回。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(6, "ERROR(207) 机械臂磁簧开关为伸出状态，无法被缩回", true)]
|
|
public bool Error207 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(208) 机械臂磁簧开关为缩回状态，无法被伸出。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(7, "ERROR(208) 机械臂磁簧开关为缩回状态，无法被伸出", true)]
|
|
public bool Error208 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(209) 机械臂H轴正硬限位被触发。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(8, "ERROR(209) 机械臂H轴正硬限位被触发", true)]
|
|
public bool Error209 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(210) 机械臂H轴负硬限位被触发。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(9, "ERROR(210) 机械臂H轴负硬限位被触发", true)]
|
|
public bool Error210 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(211) 机械臂翻转缸未翻至正面。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(10, "ERROR(211) 机械臂翻转缸未翻至正面", true)]
|
|
public bool Error211 { get; private set; }
|
|
|
|
/// <summary>
|
|
/// ERROR(212) 机械臂翻转缸未翻至反面。
|
|
/// </summary>
|
|
[BitTypeClassProperty(11, "ERROR(212) 机械臂翻转缸未翻至反面", true)]
|
|
public bool Error212 { get; private set; }
|
|
}
|
|
}
|