text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 运行 概述 托盘外延 平台 主框架 EFEM 设备 IO列表 漏率 编辑 传盘流程 工艺配方 顺序设置 配方差异 数据记录 操作日志 工序记录 实时图表 晶圆记录 历史数据 配方曲线 设置 配置 账户 权限 报警 反应腔1 主界面 工序 IO列表 运动机构 加热 MFC流量 MFC测试 气柜测试 反应腔2 工作列表 维护 周期维护 月度维护 季度维护 年度维护 维护记录