text/microsoft-resx 1.3 System.Resources.ResXResourceReader, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 System.Resources.ResXResourceWriter, System.Windows.Forms, Version=2.0.3500.0, Culture=neutral, PublicKeyToken=b77a5c561934e089 查询选项 过滤条件 展示 项每页 快速前往 查询条件 额外条件 首页 首页 上一页 上一页 下一页 下一页 尾页 尾页 导出全部 导出全部 删除全部 删除全部 间隔 时间跨度 趋势图设置 批次名称 持续时间 晶圆数量 失败晶圆数量 加载中... 选择数据 选择数据 选择配方名称 ;选择阶段名称 阶段开始时间 阶段时间 阶段号 阶段名称 设备名称 单位 最小 最大 平均值 导出 导出 转图表 转图表 图表 腔体 添加 模组 标记 X偏移 Y偏移 工艺开始时间 工艺结束时间 实时信息 删除 删除