SL 0d2013c911 更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。 ... 修正系统配置PM2.Heater中缺少参数项的问题。		2023-08-23 11:41:23 +08:00
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Routines	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
AlignerModule.cs	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
AlignerModuleBase.cs	Mainframe工程更名为SicModules。	2023-04-13 15:35:13 +08:00
SicAligner.cs	更新库文件（Commit 52a7f87）	2023-05-15 14:04:17 +08:00