三号机6寸改8寸。

HCL 9b2002d946 1.修改PM 界面 TMA 相关Enable		2024-01-08 16:12:55 +08:00
Modules/Mainframe	1.增加N型和P型工艺DO Interlock	2024-01-08 15:49:05 +08:00
SicRT	1.增加N型和P型工艺DO Interlock	2024-01-08 15:49:05 +08:00
SicSetup/Sic_Setup	修改安装包文件名为“Sic03_8寸专用_Setup”。	2023-08-23 11:51:08 +08:00
SicSimulator	- 1.解决Buffer中有用尽次数的Tray,TMRobot不去Pick导致WaferRobot不取Wafer的问题	2023-07-15 19:34:29 +08:00
SicUI	1.修改PM 界面 TMA 相关Enable	2024-01-08 16:12:55 +08:00
ThirdParty/MECF.Framework	更新库文件（Commit 90fa346），优化Aligner故障时没有Alarm的问题。	2023-08-23 10:30:02 +08:00
.gitattributes	Add .gitattributes and .gitignore.	2023-03-03 15:42:00 +08:00
.gitignore	1.Mfc Ror进度更新，功能基本完成	2023-07-04 09:18:14 +08:00
Sic03_8inch.sln	解决方案名称变更为sic03_8inch.sln	2023-07-14 22:23:43 +08:00