hanqiangqiang 2460c4ac6e 1添加测温XML配置，Process历史记录查询配置 ... 2添加测温配置初始化解析 3天假SC测温配置，3号机默认使用AE作为基础测温		2024-03-18 10:17:16 +08:00
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Aligners	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	1添加测温XML配置，Process历史记录查询配置	2024-03-18 10:17:16 +08:00
Devices	1.更新Common	2024-03-18 09:49:39 +08:00
EFEMs	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
LLs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
PMs	1.更新Common	2024-03-18 09:49:39 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	1.更新Common	2024-03-18 09:49:39 +08:00
UnLoads	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
SicModules.csproj	1添加测温XML配置，Process历史记录查询配置	2024-03-18 10:17:16 +08:00