hanqiangqiang 3b5d572fa9 只对PM1 DI-55 DI-56 Interlock条件取反		2023-11-28 08:45:25 +08:00
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Aligners	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	只对PM1 DI-55 DI-56 Interlock条件取反	2023-11-28 08:45:25 +08:00
Devices	-1.删除DI-6和DI-33的Interlock	2023-07-15 23:23:57 +08:00
EFEMs	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
LLs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
PMs	1.修改Clean流程	2023-10-31 09:00:57 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
UnLoads	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
SicModules.csproj	1删除旧的真值表配置，使用新的实现方式	2023-07-18 17:27:35 +08:00