Sic03-8inch/Modules/Mainframe
Liang Su 6e646ad3db 更新库文件(Commit ccea5a5),支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。
修正Buzzer Off按钮事件,变更为System.AckAllAlarms。
Wafer回到Cassette时,触发PJ_DONE事件,而不是直接调用三色灯。
修改三色灯实体判断逻辑,系统初始化时判断三色灯连接在哪个PLC,其它PLC的三色灯实例自动禁用。
TM点表中增加三色灯DO定义。
Recipe模板文件中增加StepUid列。
EventDefine.xml中新增50,PJ_DONE事件。
修正一些描述错误。
2023-06-25 16:04:34 +08:00
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Aligners 修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。 2023-05-18 18:33:11 +08:00
Buffers 修改一些Routine的Start方法和Monitor方法,改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。 2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes 删除久的Coating,修改加热配置项数据类型 2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config 更新库文件(Commit ccea5a5),支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。 2023-06-25 16:04:34 +08:00
Devices 更新库文件(Commit 604fdab) 2023-06-20 08:52:06 +08:00
EFEMs 将寻边器所属Module改为EFEM。 2023-05-18 17:43:50 +08:00
LLs 1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0 2023-06-20 11:09:36 +08:00
PMs 1.Mfc Ror功能进度更新 2023-06-14 17:40:00 +08:00
Properties Add project files. 2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs 传盘压力参数一键设置 2023-04-26 11:27:40 +08:00
UnLoads 1:控制V94和V96阀时,对应的控制MFC设置为0 2023-06-20 11:09:36 +08:00
SicModules.csproj 更新库文件(Commit ccea5a5),支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。 2023-06-25 16:04:34 +08:00