hanqiangqiang 9ec55a1576 PM TC配置项添加保存到数据库配置		2024-04-08 18:17:37 +08:00
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Aligners	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	PM TC配置项添加保存到数据库配置	2024-04-08 18:17:37 +08:00
Devices	1.更新Common	2024-03-18 09:49:39 +08:00
EFEMs	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
LLs	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
PMs	修正PostProcess、PMPostTransferRoutine和PMToProcessIdleRoutine中未正确设置PSU、SCR加热模式的问题。	2024-04-01 17:37:55 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	修正角色配置中缺少Recipe相关权限设置项的问题。	2024-03-19 16:08:52 +08:00
UnLoads	TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机	2023-07-18 15:57:48 +08:00
SicModules.csproj	更新库文件22e206d，修正汉化资源没有完全同步的问题。	2024-03-18 15:39:14 +08:00