| .. |
|
Base
|
1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
|
2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
|
LoadHomeRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockClawRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockGroupRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockLeakCheckRoutine.cs
|
TM,Load,Unload腔漏检Routine添加延时，参考PM腔漏检的延时调用时机
|
2023-07-18 15:57:48 +08:00 |
|
LoadLockLiftRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockPrepareTransferRoutine.cs
|
1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
|
2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
|
LoadLockPumpRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockPurgeRoutine.cs
|
1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
|
2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
|
LoadLockServoToRoutine.cs
|
1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
|
2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
|
LoadLockTrayAlignerRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockTrayClawRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadLockVentRoutine.cs
|
1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0
|
2023-06-20 11:09:36 +08:00 |
|
LoadRotationHomeOffsetRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
|
LoadSeparateRoutine.cs
|
Mainframe工程更名为SicModules。
|
2023-04-13 15:35:13 +08:00 |
16d4feece7