HCL 9099a692d1 1.修改Ramp时间		2023-06-28 14:12:26 +08:00
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Aligners	修正AlignerAlignRoutine中未执行MTM指令导致执行BAL指令失败的问题。	2023-05-18 18:33:11 +08:00
Buffers	修改一些Routine的Start方法和Monitor方法，改为重载基类的StartBody方法和MonitorBody方法。	2023-04-20 16:52:42 +08:00
Cassettes	删除久的Coating，修改加热配置项数据类型	2023-06-01 16:56:20 +08:00
Config	1.PM界面DI_DORPressATMSW改为DI_DORPressVacSW	2023-06-27 11:35:28 +08:00
Devices	更新库文件（Commit 604fdab）	2023-06-20 08:52:06 +08:00
EFEMs	将寻边器所属Module改为EFEM。	2023-05-18 17:43:50 +08:00
LLs	1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0	2023-06-20 11:09:36 +08:00
PMs	1.修改Ramp时间	2023-06-28 14:12:26 +08:00
Properties	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
TMs	传盘压力参数一键设置	2023-04-26 11:27:40 +08:00
UnLoads	1:控制V94和V96阀时，对应的控制MFC设置为0	2023-06-20 11:09:36 +08:00
SicModules.csproj	更新库文件（Commit ccea5a5），支持报警响应前和响应后三色灯呈现不同状态。	2023-06-25 16:04:34 +08:00