SL 0d2013c911 更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。 ... 修正系统配置PM2.Heater中缺少参数项的问题。		2023-08-23 11:41:23 +08:00
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LeakCheck	更新库文件（Commit 592ed68），整合8号机PMProcessView视图及其相关视图。	2023-06-29 12:10:20 +08:00
TM	更改HiWin Aligner对象的所属Module，由EFEM改为Aligner，解决Aligner异常后Aligner Module没有Alarm，导致WaferRobot从Aligner取盘失败的问题。	2023-08-23 11:41:23 +08:00
RuntimeView.xaml	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
RuntimeView.xaml.cs	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00
RuntimeViewModel.cs	Add project files.	2023-03-03 15:42:13 +08:00