 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
1723c2f036
|
TM执行完Purge后，将TM腔气压调节至PM传盘平衡压力。
|
2023-02-23 15:39:15 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
c82f4cc971
|
修正当LL压力为大气压时，TM无法取放盘的问题。
|
2023-02-22 15:52:43 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
3e46acb303
|
修正Buffer Purge时未使用Sequence配置参数的问题。
修正PM和LL Online后没有关闭超时计时器的问题。
修正各模组Alarm导致的Offline没有启用超时计时器的问题。
|
2023-02-21 16:26:58 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
e4bb97af70
|
Update from svn.
移植6号机H2、Ar气体流量计算方法。
修正基恩士相机报错后无法连接的问题。
|
2023-02-20 17:43:10 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
57b297448c
|
修正WaferRobot和TrayRobot没有彻底从EFEM中分离的问题。
|
2023-02-20 11:05:19 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
f0f4284b47
|
删除TM Place Routine中的Puge操作。
PMToProcessIdleRoutine中增加是否在调试模式的判断，调试模式下直接进入ProcessIdle状态。
|
2023-02-20 09:59:37 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
92c626e673
|
修正TM Robot Tray在位检测异常时的输出信息。
|
2023-02-14 15:48:36 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
551313022b
|
引入4号机AutoTransfer相关代码。
|
2023-02-07 20:02:23 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
16c51cb9a1
|
修正EFEM2View中WaferRobot和TrayRobot按钮绑定的函数。
修正WaferRobot和TrayRobot无法Pick和Place的问题。
|
2023-02-07 16:49:27 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
6eb29eee2c
|
所有Modules均继承基类OfflineTimeoutNotifiableModuleBase。
WaferRobotModule和TrayRobotModule从EFEMModule中分离出来。
|
2023-02-07 16:22:29 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
dbc7b44e7a
|
整理TM各模组Routine文件和文件夹结构。
|
2023-02-07 11:01:23 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
16d2619911
|
从SVN更新。
|
2023-02-07 09:54:55 +08:00 |
|
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
fb19c4f384
|
Update from svn.
|
2023-01-13 09:34:54 +08:00 |
|
THINKPAD
|
e7c58b5ede
|
Update From Svn.
|
2022-10-26 14:41:28 +08:00 |
|
THINKPAD
|
38cb30a833
|
1. 修正TrayRobot Map时的输出日志。
2. 新增TrayRobot.MapTimeout配置。
|
2022-09-07 17:13:34 +08:00 |
|
THINKPAD
|
e26227f252
|
Update from svn.
|
2022-09-07 15:52:00 +08:00 |
|
THINKPAD
|
4e0bc70f88
|
Update from svn.
|
2022-09-02 19:04:23 +08:00 |
|
THINKPAD
|
bfe2ebbfce
|
Update from svn.
|
2022-09-02 11:48:23 +08:00 |
|
THINKPAD
|
c27d563916
|
update from svn.
|
2022-09-01 08:43:27 +08:00 |
|
THINKPAD
|
54de9ba7f9
|
Update from svn.
|
2022-08-30 09:45:15 +08:00 |
|
THINKPAD
|
f1e211ccaf
|
Update from svn.
更新RecipeEditor上下文菜单图标，使用svg格式。
|
2022-08-27 16:31:55 +08:00 |
|
THINKPAD
|
eeedc9ae7e
|
安装包打包工具换成NSIS。
|
2022-08-16 11:19:52 +08:00 |
|
THINKPAD
|
73f5eb0340
|
update from svn.
|
2022-08-10 15:15:05 +08:00 |
|
THINKPAD
|
0119222ab6
|
Update from svn
|
2022-08-03 08:41:53 +08:00 |
|
THINKPAD
|
4343678c31
|
Update from SVN.
|
2022-08-02 15:41:35 +08:00 |
|
THINKPAD
|
7ea60b7f67
|
Update From SVN
|
2022-08-02 08:34:41 +08:00 |
|
THINKPAD
|
1ee0935d67
|
update from svn server
|
2022-07-30 08:50:44 +08:00 |
|
THINKPAD
|
d097fbf63f
|
backup
|
2022-07-27 19:13:21 +08:00 |
|
THINKPAD
|
37716077b8
|
Add project files.
|
2022-07-26 09:41:07 +08:00 |