# Sic 系统更新历史记录 ## Version 1.2.6.24 **2023-04-27** - Bug修复 - - 新特性 - PM MFC5功能由MFC8实现 ## Version 1.2.6.23 **2023-03-13** - Bug修复 - TMPurgeRoutine时，修改MFC60打开相关设置 - 新特性 - 无 ## Version 1.2.6.22 **2023-03-07** - Bug修复 - - 新特性 - 1.恢复高掺N2的控制，涉及MFC5和V38阀的显示和Recipe控制等 ## Version 1.2.5.21 **2023-02-27** - Bug修复 - 修正PreProcess Routine执行时，TV1压力容差无法通过系统配置进行设置的问题。 - 修正PreProcess Routine执行时，磁流体转速容差无法通过系统配置进行设置的问题，现可通过PM.PM1.RotationSpeedTolerance进行设置。 - 新特性 - ## Version 1.2.5.20 **2023-02-22** - Bug修复 - - 新特性 - TM执行完Purge后，将大气压调节至PM传盘平衡压力 ## Version 1.2.5.19 **2023-02-22** - Bug修复 - 修正当LL压力为大气压时，TM无法取放盘的问题。 - 新特性 - 当PM在ProcessIdle状态时，允许TM机械手取放PM盘片。 - 优化TM机械手取放按钮使能状态逻辑，当目标模组Online时，不可取放。 ## Version 1.2.5.18 **2023-02-21** - Bug修复 - 修正Buffer Purge时未使用Sequence配置参数的问题。 - 修正PM和LL Online后没有关闭超时计时器的问题。 - 修正各模组Alarm导致的Offline没有启用超时计时器的问题。 - 修正Shutdown后ProcessDataMonitor没有自动关闭的问题。 - 取消基恩士相机取消STW设置文件名流程。 - 优化三色信号灯状态。 - 新特性 - ## Version 1.2.5.17 **2023-02-21** - Bug修复 - 移除水温报警设置中的“SpareTempLimit”项 - 新特性 - TM相关的水温报警超限时输出Warn - Sequence中取消Buffer设置的限制条件 ## Version 1.2.5.16 **2023-02-21** - Bug修复 - - 新特性 - PM Purge结束增加是否打开Final阀功能 ## Version 1.2.5.15 **2023-02-20** - Bug修复 - 修改水温校准提示 - 修正Process过程中Step显示错误问题 - 修正PM/Load/Unload等不能只取放Tray，还需要创建Wafer的问题 - 修改PM气路图V72阀气路走向问题 - 修正TM向Buffer放盘后会额外执行一次Purge并无法取消的问题 - 修正EFEM执行Home时会错误对WaferRobot、TrayRobot执行Home的问题 - 修正WaferRobot、TrayRobot Home按钮不可用的问题 - 修正H2、Ar总流量计算错误的问题 - 修正拖放Wafer确认对话框显示尺寸错误的问题 - 修正基恩士相机Alarm后无法连接的问题 - 新特性 - Monitor显示功能移到Overview界面 - 优化Process结束后打印Step信息 - 重新整理PM换源Routine - 放开TM界面所有模块Online、Offline按钮限制 ## Version 1.2.4.14 **2023-02-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - PM模块添加水温校准功能，把配置参数写入到PLC中 ## Version 1.2.3.13 **2023-02-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 水温检测DO的报警电平改为低电平。 - PM PostTransferRoutine首先启动磁流体。 ## Version 1.2.2.12 **2023-02-18** - Bug修复 - 无 - 新特性 - 恢复水温监测相关DO，增加报警迟滞时间。 - 优化PM腔Abort流程。 ## Version 1.2.1.11 **2023-02-11** - Bug修复 - 修正Hiwin机械手驱动异常处理可能导致失去连接的问题。 - 新特性 - 调整Overview界面布局，Tray Cassette独立显示在右侧。 - WaferRobot、TrayRobot控制逻辑从EFEM Module分离，可同时进行Map、Pick和Place操作。 - 引入4号机AutoTransfer控制逻辑。 ## Version 1.1.11.9 **2023-01-29** 1.解决Offline下Target Module不在Idle时TMRobot仍可Pick和Place动作 ## Version 1.1.11.8 **2023-01-17** 1.优化磁流体转速为0其Enable关闭功能 Sic03 2023-01-12 Version 1.1.10.7 1.解决PM有时不能开腔的BUG 2.解决TM Routine会关Load FastPump阀门的BUG Sic03 2022-12-09 Version 1.1.9.6 1.修改Recipe权限中关于None的处理方式 Sic03 2022-12-08 Version 1.1.9.5 1.取消PlacePVInnerTempLimit和PickPVInnerTempLimit参数， 打开PM闸板阀取消Inner温度检查 Sic03 2022-12-05 Version 1.1.9.4 1.Hiwin Aligner 驱动优化； Sic03 2022-11-23 Version 1.1.9.3 1.解决AE配置参数EnableLogMessage找不到问题 Sic03 2022-11-16 Version 1.1.9.2 1.Buffer取消关闭闸板阀，取消预热功能 2.TMRobot放Wafer后执行TM Purge Sic03 2022-11-15 Version 1.1.9.1 1. PM和Unload Online切Offline时取消限制 Sic03 2022-11-11 Version 1.1.9.0 1. PM 磁流体Reset时取消ServoOn检查 Sic03 2022-10-27 Version 1.1.8.9 1. PM Rotation取消磁流体转速为0，Disable功能 Sic03 2022-10-18 Version 1.1.8.8 1. PM Rotation取消ServoReady信号检查 2.PM Rotation转速为0后Disenable,大于0后再Enable Sic03 2022-10-18 Version 1.1.8.7 1. 将AE增加到QueueDevice队列中 Sic03 2022-09-22 Version 1.1.8.6 1. AE驱动优化，重连部分bug修正； Sic03 2022-09-22 Version 1.1.8.5 1. 解决Unload腔CoolTime异常时出现小于0的情况 Sic03 2022-09-14 Version 1.1.8.4 1. 执行Recipe中取消DummyStep,M2/M9/M15在由Vent切换到Run和Run切换到Vent 不产生1s的跳变 2.Pump和VacIdle Routine增加V65操作 Sic03 2022-09-07 Version 1.1.8.1 1. 修正TrayRobot Map时的输出日志。 2. 新增TrayRobot.MapTimeout配置。 Sic03 2022-08-28 Version 1.1.6.5 1. 优化PM Purge 2.TM/Load/Unload Vent超压后自动关Vent阀 3.解决LoadLockPrepareTransferRoutine问题 4.SuspectorCheck检查移到关PM闸板阀前面 Sic03 2022-08-27 Version 1.1.6.4 1. PT增加Offset和K设置 Sic03 2022-08-25 Version 1.1.5.9 1. 解决Recipe PSU模式切换错误问题 Sic03 2022-08-24 Version 1.1.5.8 1. PC增加Offset 2.磁流体增加ACC和DEC Sic03 2022-08-24 Version 1.1.5.7 1. 优化LoadRotation Sic03 2022-08-22 Version 1.1.5.6 1. 优化LeakCheck Sic03 2022-08-20 Version 1.1.5.5 1. 恢复隔热罩IsBusy注册 Sic03 2022-08-20 Version 1.1.5.4 1. 恢复隔热罩3个位置注册 Sic03 2022-08-17 Version 1.1.5.3 1. 优化 Sic03 2022-08-17 Version 1.1.5.2 1. 优化 Sic03 2022-08-17 Version 1.1.5.1 1. 优化PM LeakCheck/Purge/Isolation Sic03 2022-08-11 Version 1.1.3.11 1. 删除DataHistory的一些数据节点。 Sic03 2022-08-10 Version 1.1.0.8 1、Heater校准，使用Task 代替Timer做延时; Sic03 2022-08-09 Version 1.1.0.7 1、Heater校准，使用Task 代替Timer做延时; Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.6 1、优化Heater功能; Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.5 1、添加PM AO-71 至 AO-83; Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.4 1、Process Monitor 窗口调整； Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.3 1、PM Heater界面 heater mode 中去掉TC模式； 2、PM DI-2 ； 3、解决PM PT1和PT2 offset 值掉电丢失的问题； Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.2 1.PM Clean Routine重新整理 Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.1 1.更新 1.PM Purge Routine重新整理 Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.0 1.PM Purge Routine重新整理 Sic03 2022-08-02 Version 1.0.10.0 1.PM1 底部恒功率模式控制方案，优化完善。 Sic03 2022-08-02 Version 1.0.9.9 1.PM ProcessIdle Routine重新整理 Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.8 1.PM1 底部恒功率模式控制方案，进一步完善； Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.7 1.重写PM Pump/Vent/AtmIdle/VacIdle Routine Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.6 1.PM1 底部恒功率模式控制方案，优化。 Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.4 1.PM1 底部恒功率模式控制方案，Y值计算部分已添加，待测试。 Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.3 1.TM Interlock修改 Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.2 1.ConfinementRing问题修改 2.Post Process增加动态流量设置 Sic03 2022-07-29 Version 1.0.9.0 1.ConfinementRing 从Platform/Device 移到 PM1/Motion界面； Sic03 2022-07-29 Version 1.0.8.9 1.UPS IO优化； Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.8 1.UPS IO优化； Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.7 1.更新优化 Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.4 1.UPS的IO点优化。 Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.3 1.Routine优化 Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.2 1.UPS PowerAlarm 和 LowerBatteryAlarm优化更新； Sic03 2022-07-27 Version 1.0.8.1 1.Alarm Code 0727 IO基本更改完成，还有两个IO需要添加； Sic03 2022-07-25 Version 1.0.7.9 1.OverView界面，在Buffer腔右侧添加Remain Time表格； Sic03 2022-07-25 Version 1.0.7.8 1.将EFEM的Enable模块添加到Mainframe界面； Sic03 2022-07-24 Version 1.0.7.7 1.添加石墨盘在Load腔、TrayRobot取盘时的使用次数判断； Sic03 2022-07-24 Version 1.0.7.6 1.优化 Sic03 2022-07-22 Version 1.0.7.5 1.PM ProcessIdle检测隔热罩状态 2.界面Buffer显示温度 Sic03 2022-07-22 Version 1.0.7.2 1.AlarmCode更新； Sic03 2022-07-21 Version 1.0.7.1 1.基恩士相机新算法驱动更新； Sic03 2022-07-21 Version 1.0.7.0 1.Clean Routine Vent压力改为配置 2.修改Lid信号关联对应的腔 3.PM1闸板阀关闭才能运行Leakcheck Routine 4.开腔需要PM处于大气模式 5.U4流量报警信息(DI-8)改为(DI-46) 6.PM DI-4与DI-9位置互换 Sic03 2022-07-19 Version 1.0.6.9 1.基恩士驱动更新，可以设置输出文件名和设置执行条件； Sic03 2022-07-19 Version 1.0.6.8 1.Device界面，ConfinementRing 和 UPS Info 界面调整； Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.7 1.LineHeater Enable增加状态显示 2.TM DI-16/DI-17/DI-18/DI-19被替换为DI-88/DI-90/DI-89/DI-91 3.TM删除DI-20、DI-21、DI-42 Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.6 1、在EFEM2界面添加寻边器功能； Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.5 1、基恩士工业相机驱动优化。 Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.4 1、基恩士工业相机驱动优化。 Sic03 2022-07-15 Version 1.0.6.2 1、UPS驱动更新优化，数据地址变更； Sic03 2022-07-14 Version 1.0.6.0 1、UPS驱动更新，Device界面添加UPS Info显示； Sic03 2022-07-14 Version 1.0.5.9 1、优化P116使能功能； Sic03 2022-07-14 Version 1.0.5.8 1、优化P116使能功能； Sic03 2022-07-13 Version 1.0.5.7 1、增加旋转电机Jog和按钮Enable Sic03 2022-07-13 Version 1.0.5.6 1、P116添加使能功能； Sic03 2022-07-11 Version 1.0.5.4 1、更新隔热罩IO Sic03 2022-07-08 Version 1.0.5.1 1、基恩士相机驱动优化，并添加“转至运行模式”功能； Sic03 2022-07-08 Version 1.0.5.0 1、基恩士相机驱动优化； Sic03 2022-07-08 Version 1.0.4.9 1、删除隔热罩4个相关Routine Sic03 2022-07-07 Version 1.0.4.8 1、添加了Aligner的动作功能； Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.7 1、P116驱动PV值和SP设置函数更正； Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.6 1、将Aligner参数设置功能完善； Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.5 1、将Aligner参数设置功能移至TM.Device界面； Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.4 1、优驱动KeyenceCVX300F，添加了ClearResult函数； Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.3 1、优化驱动KeyenceCVX300F Sic03 2022-07-05 Version 1.0.4.2 1.自动运行增加Load Rotation检测逻辑 2.增加DO207/208的信号软InterLock判断 Sic03 2022-07-05 Version 1.0.4.0 1.添加P116驱动的配置文件； Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.9 1.加载P116驱动，上一版本忘记加载欧陆P116温控器驱动了； Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.8 1.添加了欧陆P116温控器驱动； Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.7 1.Process界面 Monitor 窗口添加PSUMode 和 SCRMOde； Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.6 1.修正Ar/H2总流量计算； 2.修改V88/V89/V90流量显示数值位置。 Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.5 1.更正基恩士相机返回数据double 为string； Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.4 1.Routine Reciep相关参数调整 Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.3 1.Routine Reciep功能优化 Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.2 1.MFC配置信息优化 2.删除Buffer 模块的Pump和Vent routine 3.Coolingwater 参数修改 4.LoadLock统一改为Load,EFEM界面名称优化 5.TM M60和M61量程配置 6.ATM Idle和Vac Idle流程优化 Sic03 2022-07-01 Version 1.0.3.1 1.添加KEYENCE的CVX100驱动； Sic03 2022-07-01 Version 1.0.3.0 1.Process界面Monitor窗口优化； Sic03 2022-06-30 Version 1.0.2.9 1.EFEM界面，添加Aligner显示； 2、OverView界面Buffer倒计时功能添加； Sic03 2022-06-29 Version 1.0.2.7 1.修改IO名称 Sic03 2022-06-29 Version 1.0.2.6 1.修改IO名称 2.修改Recipe名称 3.修改MFC27默认值等 4.修改PM气路图水路部分名称 Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.5 1.Overview->CassAL和CassAR处，删除Create Tary功能 2、Overview->Tray 界面，Create Wafer改为Create tray；Delete wafer 改为Delete Tray，删除Create Tary项 Sic03 2022-06-28 Version 1.0.2.4 1.修改TM界面 2.优化SystemConfig参数 Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.3 1.Alarm Code 初始值更新 Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.2 1.Alarm Code 定义更新 Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.1 1.PM气路图修改，M2与PC5对换位置，M9与PC6对换位置，M15与PC7对换位置 Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.0 1.修改TM Pump1和Pump2相关IO Sic03 2022-06-24 Version 1.0.1.9 1.修改PM和TM IO名称 Sic03 2022-06-22 Version 1.0.1.8 1.优化Simulator IO控件样式 Sic03 2022-06-22 Version 1.0.1.7 1.优化TM气路图 Sic03 2022-06-21 Version 1.0.1.6 1.按IO更新PM IO Sic03 2022-06-21 Version 1.0.1.5 1.按IO更新TM IO Sic03 2022-06-20 Version 1.0.1.4 1.删除V64/V65/V66/V67/V28相关代码 Sic03 2022-06-20 Version 1.0.1.3 1.更新PM气路图以1号机为模板 2.HiWinAligner默认不启用 2022-06-20 Version 1.0.1.2 1.增加CleanRecipe.cs/DoSensor.cs/PMTolsolationRoutine.cs/PMToAtmIdleRoutine.cs/PMPumpRoutine.cs/ PMStopHeatEnableRoutine.c和Clean RecipeFormat.xml 2022-04-08 Version 1.0.0.0 1.从最新的Sic02 version1.2.9.7 移植 2.增加EFEM模块 3.增加WaferRobot机械手和TrayRobot机械手驱动 4.修改TM DeviceModle和相关功能 5.增加EFEM,Aligner,CassAL,CassAR,CassBL模块