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待修复问题:
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Sic 系统更新历史记录
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Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.6
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1、优化Heater功能;
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Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.5
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1、添加PM AO-71 至 AO-83;
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Sic03 2022-08-03 Version 1.1.0.4
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1、Process Monitor 窗口调整;
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Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.3
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1、PM Heater界面 heater mode 中去掉TC模式;
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2、PM DI-2 ;
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3、解决PM PT1和PT2 offset 值掉电丢失的问题;
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Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.2
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1.PM Clean Routine重新整理
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Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.1
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1.更新
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1.PM Purge Routine重新整理
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Sic03 2022-08-02 Version 1.1.0.0
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1.PM Purge Routine重新整理
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Sic03 2022-08-02 Version 1.0.10.0
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1.PM1 底部恒功率模式控制方案,优化完善。
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Sic03 2022-08-02 Version 1.0.9.9
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1.PM ProcessIdle Routine重新整理
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.8
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1.PM1 底部恒功率模式控制方案,进一步完善;
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.7
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1.重写PM Pump/Vent/AtmIdle/VacIdle Routine
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.6
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1.PM1 底部恒功率模式控制方案,优化。
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.4
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1.PM1 底部恒功率模式控制方案,Y值计算部分已添加,待测试。
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.3
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1.TM Interlock修改
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Sic03 2022-08-01 Version 1.0.9.2
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1.ConfinementRing问题修改
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2.Post Process增加动态流量设置
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Sic03 2022-07-29 Version 1.0.9.0
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1.ConfinementRing 从Platform/Device 移到 PM1/Motion界面;
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Sic03 2022-07-29 Version 1.0.8.9
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1.UPS IO优化;
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Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.8
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1.UPS IO优化;
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Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.7
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1.更新优化
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Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.4
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1.UPS的IO点优化。
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Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.3
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1.Routine优化
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Sic03 2022-07-28 Version 1.0.8.2
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1.UPS PowerAlarm 和 LowerBatteryAlarm优化更新;
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Sic03 2022-07-27 Version 1.0.8.1
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1.Alarm Code 0727 IO基本更改完成,还有两个IO需要添加;
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Sic03 2022-07-25 Version 1.0.7.9
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1.OverView界面,在Buffer腔右侧添加Remain Time表格;
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Sic03 2022-07-25 Version 1.0.7.8
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1.将EFEM的Enable模块添加到Mainframe界面;
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Sic03 2022-07-24 Version 1.0.7.7
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1.添加石墨盘在Load腔、TrayRobot取盘时的使用次数判断;
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Sic03 2022-07-24 Version 1.0.7.6
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1.优化
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Sic03 2022-07-22 Version 1.0.7.5
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1.PM ProcessIdle检测隔热罩状态
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2.界面Buffer显示温度
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Sic03 2022-07-22 Version 1.0.7.2
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1.AlarmCode更新;
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Sic03 2022-07-21 Version 1.0.7.1
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1.基恩士相机新算法驱动更新;
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Sic03 2022-07-21 Version 1.0.7.0
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1.Clean Routine Vent压力改为配置
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2.修改Lid信号关联对应的腔
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3.PM1闸板阀关闭才能运行Leakcheck Routine
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4.开腔需要PM处于大气模式
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5.U4流量报警信息(DI-8)改为(DI-46)
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6.PM DI-4与DI-9位置互换
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Sic03 2022-07-19 Version 1.0.6.9
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1.基恩士驱动更新,可以设置输出文件名和设置执行条件;
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Sic03 2022-07-19 Version 1.0.6.8
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1.Device界面,ConfinementRing 和 UPS Info 界面调整;
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Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.7
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1.LineHeater Enable增加状态显示
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2.TM DI-16/DI-17/DI-18/DI-19被替换为DI-88/DI-90/DI-89/DI-91
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3.TM删除DI-20、DI-21、DI-42
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Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.6
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1、在EFEM2界面添加寻边器功能;
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Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.5
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1、基恩士工业相机驱动优化。
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Sic03 2022-07-18 Version 1.0.6.4
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1、基恩士工业相机驱动优化。
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Sic03 2022-07-15 Version 1.0.6.2
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1、UPS驱动更新优化,数据地址变更;
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Sic03 2022-07-14 Version 1.0.6.0
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1、UPS驱动更新,Device界面添加UPS Info显示;
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Sic03 2022-07-14 Version 1.0.5.9
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1、优化P116使能功能;
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Sic03 2022-07-14 Version 1.0.5.8
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1、优化P116使能功能;
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Sic03 2022-07-13 Version 1.0.5.7
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1、增加旋转电机Jog和按钮Enable
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Sic03 2022-07-13 Version 1.0.5.6
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1、P116添加使能功能;
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Sic03 2022-07-11 Version 1.0.5.4
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1、更新隔热罩IO
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Sic03 2022-07-08 Version 1.0.5.1
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1、基恩士相机驱动优化,并添加“转至运行模式”功能;
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Sic03 2022-07-08 Version 1.0.5.0
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1、基恩士相机驱动优化;
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Sic03 2022-07-08 Version 1.0.4.9
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1、删除隔热罩4个相关Routine
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Sic03 2022-07-07 Version 1.0.4.8
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1、添加了Aligner的动作功能;
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Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.7
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1、P116驱动PV值和SP设置函数更正;
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Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.6
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1、将Aligner参数设置功能完善;
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Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.5
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1、将Aligner参数设置功能移至TM.Device界面;
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Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.4
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1、优驱动KeyenceCVX300F,添加了ClearResult函数;
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Sic03 2022-07-06 Version 1.0.4.3
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1、优化驱动KeyenceCVX300F
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Sic03 2022-07-05 Version 1.0.4.2
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1.自动运行增加Load Rotation检测逻辑
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2.增加DO207/208的信号软InterLock判断
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Sic03 2022-07-05 Version 1.0.4.0
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1.添加P116驱动的配置文件;
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Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.9
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1.加载P116驱动,上一版本忘记加载欧陆P116温控器驱动了;
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Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.8
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1.添加了欧陆P116温控器驱动;
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Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.7
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1.Process界面 Monitor 窗口添加PSUMode 和 SCRMOde;
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Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.6
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1.修正Ar/H2总流量计算;
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2.修改V88/V89/V90流量显示数值位置。
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Sic03 2022-07-04 Version 1.0.3.5
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1.更正基恩士相机返回数据double 为string;
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Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.4
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1.Routine Reciep相关参数调整
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Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.3
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1.Routine Reciep功能优化
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Sic03 2022-07-02 Version 1.0.3.2
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1.MFC配置信息优化
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2.删除Buffer 模块的Pump和Vent routine
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3.Coolingwater 参数修改
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4.LoadLock统一改为Load,EFEM界面名称优化
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5.TM M60和M61量程配置
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6.ATM Idle和Vac Idle流程优化
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Sic03 2022-07-01 Version 1.0.3.1
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1.添加KEYENCE的CVX100驱动;
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Sic03 2022-07-01 Version 1.0.3.0
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1.Process界面Monitor窗口优化;
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Sic03 2022-06-30 Version 1.0.2.9
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1.EFEM界面,添加Aligner显示;
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2、OverView界面Buffer倒计时功能添加;
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Sic03 2022-06-29 Version 1.0.2.7
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1.修改IO名称
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Sic03 2022-06-29 Version 1.0.2.6
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1.修改IO名称
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2.修改Recipe名称
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3.修改MFC27默认值等
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4.修改PM气路图水路部分名称
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Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.5
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1.Overview->CassAL和CassAR处,删除Create Tary功能
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2、Overview->Tray 界面,Create Wafer改为Create tray;Delete wafer 改为Delete Tray,删除Create Tary项
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Sic03 2022-06-28 Version 1.0.2.4
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1.修改TM界面
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2.优化SystemConfig参数
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Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.3
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1.Alarm Code 初始值更新
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Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.2
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1.Alarm Code 定义更新
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Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.1
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1.PM气路图修改,M2与PC5对换位置,M9与PC6对换位置,M15与PC7对换位置
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Sic03 2022-06-26 Version 1.0.2.0
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1.修改TM Pump1和Pump2相关IO
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Sic03 2022-06-24 Version 1.0.1.9
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1.修改PM和TM IO名称
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Sic03 2022-06-22 Version 1.0.1.8
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1.优化Simulator IO控件样式
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Sic03 2022-06-22 Version 1.0.1.7
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1.优化TM气路图
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Sic03 2022-06-21 Version 1.0.1.6
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1.按IO更新PM IO
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Sic03 2022-06-21 Version 1.0.1.5
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1.按IO更新TM IO
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Sic03 2022-06-20 Version 1.0.1.4
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1.删除V64/V65/V66/V67/V28相关代码
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Sic03 2022-06-20 Version 1.0.1.3
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1.更新PM气路图以1号机为模板
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2.HiWinAligner默认不启用
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2022-06-20 Version 1.0.1.2
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1.增加CleanRecipe.cs/DoSensor.cs/PMTolsolationRoutine.cs/PMToAtmIdleRoutine.cs/PMPumpRoutine.cs/
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PMStopHeatEnableRoutine.c和Clean RecipeFormat.xml
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2022-04-08 Version 1.0.0.0
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1.从最新的Sic02 version1.2.9.7 移植
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2.增加EFEM模块
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3.增加WaferRobot机械手和TrayRobot机械手驱动
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4.修改TM DeviceModle和相关功能
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5.增加EFEM,Aligner,CassAL,CassAR,CassBL模块 |