2022-10-13 23:20:40 +08:00
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2022-09-19 09:16:33 +08:00
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待修复问题:
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Sic 系统更新历史记录
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2022-11-25 16:49:18 +08:00
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2022-12-09 17:48:37 +08:00
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2022-12-09 18:07:25 +08:00
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Sic04 2022-12-09 Version 1.0.4.49
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1.修正自动流程中PM完成后无法往UnLoad传盘的问题。
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2.调整主界面各个模块的状态的字体。
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2022-12-09 17:48:37 +08:00
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Sic04 2022-12-09 Version 1.0.4.48
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1.修正自动传盘时,如果只有一个Tray盘可用,则会卡在UnLoad的问题。
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2.修正PMProcessView页面无法加载Recipe的问题。
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2022-12-08 18:03:23 +08:00
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Sic04 2022-12-08 Version 1.0.4.47
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1.MFC显示值支持加入扰动,扰动幅度可在权限中配置。
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2.增加ProcessMonitor窗口权限控制
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3.Overview界面增加磁流体转速和当前工艺步骤显示。
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2022-12-08 15:07:19 +08:00
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Sic04 2022-12-08 Version 1.0.3.46
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1.修正Recipe步骤运行于Power温度模式时,当温度到达设定值时,是否跳步的判断条件。
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2022-12-08 14:51:41 +08:00
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Sic04 2022-12-08 Version 1.0.3.45
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1.新增系统配置PM.PM1.Heater.ForceDisableInnerHeater,允许用户强制禁用InnerHeater。
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2.新增系统配置PM.PM1.Heater.Recipe.ForceSkipPowerModeStep,允许Recipe在Power模式加温时,温度到达设定值后强制跳步。
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3.修正一些问题。
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2022-12-08 15:07:19 +08:00
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2022-12-08 10:55:05 +08:00
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Sic04 2022-12-08 Version 1.0.3.44
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1.PMProcessView中新增Recipe滚动到当前步骤功能,以及完成工艺的步骤变灰并不可编辑。
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2.新增自动模式下模块离线超时提醒功能。
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3.修正软件升级后Recipe相关的一些权限失效的问题。
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4.修正和优化一些传盘问题。
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2022-12-07 15:49:17 +08:00
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Sic04 2022-12-07 Version 1.0.3.43
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1.下述Routine中强制打开压力伺服,并禁用PID调节:TMServoRoutine、TMSlitValveRoutine
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2.隐藏系统配置中的一些参数。
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Sic04 2022-12-07 Version 1.0.3.42
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2022-12-07 14:12:18 +08:00
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1.优化自动传盘逻辑,仅在其它腔准备好后TMRobot才拿盘。
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2.修正MFC5无法弹出右键菜单的问题。
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2022-12-06 13:59:55 +08:00
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Sic04 2022-12-06 Version 1.0.3.41
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1.Recipe相关优化,支持隐藏参数值、在线更新工艺Recipe、控制权限精确至单元格。
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2.Recipe支持数据库保存。
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3.优化和修改ProcessMonitor窗口的一些问题。
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2022-12-07 14:12:18 +08:00
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2022-11-28 18:02:07 +08:00
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Sic04 2022-11-26 Version 1.0.2.40
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1.新增TrayRobot、WaferRobot取放盘完成并关闭Vent后延时,以避免DI状态未及时刷新导致的后续操作Interlock出发报警问题。
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2.修正TM Purge时可能充气到ATM的问题。
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2022-11-26 23:00:35 +08:00
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Sic04 2022-11-26 Version 1.0.2.39
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1.新增Load、UnLoad从大气侧取放盘时持续vent的功能。
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2.修正PM腔Purge循环数配置项丢失的问题。
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2022-11-25 16:49:18 +08:00
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Sic04 2022-11-25 Version 1.0.2.38
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1.修改配置,允许修改单个Wafer的Recipe
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2.新增修改Wafer ID的功能
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3.新增Job List中显示Wafer ID的功能
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2022-11-25 11:55:55 +08:00
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Sic04 2022-11-25 Version 1.0.2.37
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1.HiwinAligner优化;
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2022-09-19 09:16:33 +08:00
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2022-11-25 16:49:18 +08:00
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2022-11-24 16:26:27 +08:00
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Sic04 2022-11-24 Version 1.0.2.36
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1.优化和修正AutoTransfer流程中的一些问题。
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2022-11-24 10:59:37 +08:00
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Sic04 2022-11-23 Version 1.0.2.35
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1.优化和修正AutoTransfer流程中的一些问题。
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2.修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
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3.优化UnLoad腔CoolingAndPurge流程。
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2022-11-23 17:32:18 +08:00
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Sic04 2022-11-23 Version 1.0.2.34
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1.自动传盘和Purge流程优化。
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2022-11-21 20:33:57 +08:00
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Sic04 2022-11-21 Version 1.0.1.33
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1.修正Load组合完以后未关闭闸板阀的问题。
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2022-11-21 14:53:03 +08:00
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Sic04 2022-11-21 Version 1.0.1.32
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1.取消TM Purge。
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2022-11-19 15:32:12 +08:00
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Sic04 2022-11-19 Version 1.0.1.31
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1.HiwinAligner 驱动优化;
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2022-11-21 14:53:03 +08:00
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2022-11-18 18:14:26 +08:00
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Sic04 2022-11-18 Version 1.0.1.30
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1.修正LoadLockPumpRoutine中未在正确位置锁定Pump2的问题。
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2.增加Pump2锁定信息打印。
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2022-11-21 14:53:03 +08:00
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2022-11-18 15:18:16 +08:00
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Sic04 2022-11-18 Version 1.0.1.29
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1.修正Aligner通讯超时问题。
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2.优化传盘逻辑,增加Pump2的锁定机制,现在Load和Unload腔可以同时进行某些操作,提高效率。
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3.根据客户要求优化Load/UnLoad吹扫逻辑,现在Load可以根据Tray的来源决定是否单独吹扫Wafer;UnLoad增加取Wafer前后的吹扫,并且可配置各个时机吹扫的循环次数。
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4.Buffer闸板阀保持常开,TMRobot增加Purge动作。
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5.其它一些列优化,包括客户需求更改。
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2022-11-02 23:47:56 +08:00
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Sic04 2022-11-02 Version 1.0.0.28
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1.修改Load和Unload PrepareTransfer次数可配置
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2.修改UPS1Enable和UPS2Enable报警电平
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2022-11-18 15:18:16 +08:00
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2022-11-01 16:01:29 +08:00
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Sic04 2022-11-01 Version 1.0.0.27
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1.更新Alarm配置清单。
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2022-11-01 15:38:35 +08:00
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Sic04 2022-11-01 Version 1.0.0.26
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1.恢复Unload腔SlowPump时的Interlock。
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2.Unload腔SlowPump时如果触发Interlock,输出Warning信息,而不是Alarm信息。
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Sic04 2022-10-30 Version 1.0.0.25
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2022-10-31 18:45:21 +08:00
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1.PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后,等待设定的时间。
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2022-10-28 22:59:18 +08:00
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Sic04 2022-10-28 Version 1.0.0.23
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1.添加AE读取温度间隔时间配置项。
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2022-10-28 15:58:54 +08:00
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Sic04 2022-10-28 Version 1.0.0.22
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1.修正PM气体总流量统计。
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2.修正基恩士相机无法设置图片文件名的问题。
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2022-10-27 09:01:49 +08:00
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Sic04 2022-10-26 Version 1.0.0.21
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1.修正RecipeStep复制时比例值未被复制的问题。
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2022-10-25 15:36:39 +08:00
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Sic04 2022-10-25 Version 1.0.0.20
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1.调整Overview中Tray视图的位置,将其显式放置在窗口右侧。(Issue 3)
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2.修改Alter Info对话框的显示内容,可根据Wafer、Tray的类型动态显示或隐藏设置项。(Issue 4)
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3.Overview界面增加Monitor窗口显示按钮。(Issue 5)
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4.移除PM中的Alarm试图。(Issue 9)
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5.增加PM运行ToProcessIdle、ToVacIdle、ToATMIdle流程时的Interlock限制。(Issue 11)
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2022-10-24 11:10:40 +08:00
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Sic04 2022-10-21 Version 1.0.0.19
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1.取消磁流体转速为0时Disable的功能。
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2.恢复Unload腔执行SlowPump时,如果Interlock不满足,产生Alarm,而不是Warning。
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3.删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
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2022-10-21 17:30:13 +08:00
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Sic04 2022-10-21 Version 1.0.0.18
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1.修正打开Recipe Validation Errors窗口时界面卡死的问题。
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2022-10-19 16:12:46 +08:00
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Sic04 2022-10-19 Version 1.0.0.17
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1.修正PMProcessView界面中Recipe显示问题。
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2.PM Process监控窗口更改为内容随窗口缩放大小。
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3.调整PM Process监控窗口表格线条。
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2022-10-19 10:39:00 +08:00
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Sic04 2022-10-18 Version 1.0.0.16
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1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
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2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
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2022-10-19 16:12:46 +08:00
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2022-10-18 17:12:32 +08:00
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Sic04 2022-10-18 Version 1.0.0.15
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1.修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。
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2.LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
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3.修改process退出时的输出信息,增加当前Recipe的Step已消耗的时长。
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2022-10-14 18:01:12 +08:00
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2022-10-18 16:57:38 +08:00
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Sic04 2022-10-18 Version 1.0.0.14
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1.Unload腔执行SlowPump时DO-62(DO_UnloadSlowPump)互锁报警更改为警告。。
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2.PM IO恢复DI-345,并移除DO-240
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2022-10-18 17:12:32 +08:00
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3.PM的Interlock配置中DI-4更改为DI-345.
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2022-10-18 16:57:38 +08:00
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Sic04 2022-10-18 Version 1.0.0.13
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2022-10-18 11:25:16 +08:00
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1.PM气路图中V27后的泄压阀压力显示改为70mbar。
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2.PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
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3.修改系统设置中的一些错误描述。
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4.修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
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5.PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
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6.Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
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2022-10-18 16:57:38 +08:00
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Sic04 2022-10-17 Version 1.0.0.12
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1.修正AETemp设备未添加的问题!
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2022-10-15 13:00:26 +08:00
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Sic04 2022-10-15 Version 1.0.0.11
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1.修正RecipeEditor中无法保存Ratio类数据的问题。
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2022-10-14 18:01:12 +08:00
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Sic04 2022-10-14 Version 1.0.0.10
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1.LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2.修正DataView中如果更改了Factor和Offset,重新查询后Factor和Offset失效的问题。
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2022-10-13 23:20:40 +08:00
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Sic04 2022-10-13 Version 1.0.0.9
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1.PMInterlock中恢复DI-4限制。
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2.新增软点DO-240。
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3.新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
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4.DO-240绑定到PT1压力值,当PT1压力超过设定值时,认为PM腔已超过大气压,则DO-240输出1。
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2022-10-13 09:40:56 +08:00
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Sic04 2022-10-11 Version 1.0.0.8
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1.优化AE连接超时问题。
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2.修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
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3.PMInterlock中移除DI-4限制。
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Sic04 2022-10-10 Version 1.0.0.7
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1.从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。
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2022-10-10 12:23:02 +08:00
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Sic04 2022-10-10 Version 1.0.0.6
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1.增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC:DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
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2.修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
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3.Interlock配置中移除DI-40限制。
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2022-10-09 23:44:50 +08:00
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Sic04 2022-10-09 Version 1.0.0.5
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2022-09-29 13:18:44 +08:00
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2022-10-09 23:44:50 +08:00
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1.系统设置中的LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位更改为分钟。
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2.系统Init和Reset时,重置PMInterlock,以使DO-192输出高电平以取消报警。
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Sic04 2022-09-30 Version 1.0.0.4
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2022-09-29 13:18:44 +08:00
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1.修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2.EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home,而不会被锁定。
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3.修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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2022-09-28 11:01:42 +08:00
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Sic04 2022-09-28 Version 1.0.0.3
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1.DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。
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2022-09-26 10:49:29 +08:00
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2022-09-27 15:20:44 +08:00
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Sic04 2022-09-27 Version 1.0.0.2
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1.删除AO-90、AO-91.
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2022-09-26 10:50:29 +08:00
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Sic04 2022-09-26 Version 1.0.0.1
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2022-09-26 10:49:29 +08:00
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1.修正切换页面时,Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
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2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2,仅保留PM1。
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2022-09-26 10:50:29 +08:00
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Sic04 2022-09-14 Version 1.0.0.0
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2022-09-26 10:49:29 +08:00
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1.从最新的Sic02 version 1.1.8.4 移植
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2.更新IO表。
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