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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 9b205b3bf5 临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数,修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑,输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
2022-12-26 10:22:29 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD c03986e883 整理SchedulerModuleFactory格式和变量名。 2022-12-25 11:11:55 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD f6035fb5cc Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。
优化传盘逻辑,测试正常。
2022-11-22 18:04:20 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD e9651ccfe3 AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
2022-11-17 18:01:52 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6574353eb6 SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。 2022-11-17 10:31:18 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。

增加新类DeviceLocker。

SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。

TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
2022-11-16 14:18:05 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 6b57315404 从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。 2022-11-14 09:22:13 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00