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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 9b205b3bf5 临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数,修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑,输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
2022-12-26 10:22:29 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00