 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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339b56e06d
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定，当Sequence中的Cooling时间不可用时，回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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843e1720be
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Aligner和PM增加Wafer旋转动画。
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2022-11-15 23:33:34 +08:00 |
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THINKPAD
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db8d0bf7d1
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取消MFC数值显示权限设定。
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2022-11-08 10:22:36 +08:00 |
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THINKPAD
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4ae40665c6
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Issue2：现在WaferRobot和TrayRobot可以同时Map。
需求文件更新。
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2022-11-07 17:19:13 +08:00 |
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THINKPAD
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6242704d6f
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从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。
修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
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2022-10-13 09:07:48 +08:00 |
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THINKPAD
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EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。
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2022-09-29 12:09:18 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |