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THINKPAD 1819f01e8b PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。 2022-11-02 16:06:30 +08:00
THINKPAD 8d1301a0e9 更新Alarm配置清单。 2022-11-02 09:35:04 +08:00
THINKPAD 372fc3798a 恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。 
Unload腔SlowPump时如果触发Interlock，输入Warning信息，而不是Alarm。
 2022-11-01 10:55:21 +08:00
THINKPAD bd58a9dd84 PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后，等待设定的时间。 
版本更新到v1.0.0.25
 2022-10-31 18:45:21 +08:00
THINKPAD 5e19b6b999 IoMFC在Ramp时打印日志。 2022-10-29 17:37:09 +08:00
THINKPAD f447251fbc 修改IoConfinementRing中的一个小问题。 2022-10-24 15:11:17 +08:00
THINKPAD 3ce5ac288a 新增DO-186/187 Interlock配置。 
新增DO-169 Interlock配置。
IoConfinementRing.cs中MoveDownPos()函数中对PM Service Mode和DI11的检查取消。
 2022-10-24 15:02:37 +08:00
THINKPAD 7494a9e644 新增软DO-186/187，以及其相关控制逻辑。 2022-10-24 13:47:42 +08:00
THINKPAD 6c39999532 PM和Simulator中移除DO_186/187/188 2022-10-24 13:27:23 +08:00
THINKPAD ff5e299843 取消磁流体转速为0时Disable的功能。 
恢复Unload腔执行SlowPump时，如果Interlock不满足，产生Alarm，而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
 2022-10-24 11:10:40 +08:00
THINKPAD 43350628fe Update from svn. 2022-10-24 09:02:02 +08:00
THINKPAD 13c681f92d PM Interlock中的DI-345电平条件改为false。 2022-10-20 09:08:09 +08:00
THINKPAD d105d0c452 Update from svn. 
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
 2022-10-19 10:39:00 +08:00
THINKPAD c4fd8bb828 版本更新至v1.0.0.15 2022-10-18 17:14:32 +08:00
THINKPAD 24c64592c4 修改process退出时的输出信息，增加当前Recipe的Step已消耗的时长。 2022-10-18 17:11:56 +08:00
THINKPAD eb7c2a64f5 修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。 
LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
 2022-10-18 16:17:19 +08:00
THINKPAD 693dcf0409 PM的Interlock配置中DI-4更改为DI-345 2022-10-18 15:07:39 +08:00
THINKPAD dd8e525888 恢复PM DI-345. 
移除DO-240.
 2022-10-18 14:43:48 +08:00
THINKPAD 73d0afdcec 调整UnloadBaseRoutine中SlowPump()函数执行错误是的打印信息。 2022-10-18 14:38:06 +08:00
THINKPAD e6017c3033 Unload腔执行SlowPump时DO-62（DO_UnloadSlowPump）互锁报警更改为警告。。 2022-10-18 14:30:38 +08:00
THINKPAD b91d4ebdbd 修正PMInterlock中DI-78/79/84/85的限制电平。 2022-10-18 11:44:15 +08:00
THINKPAD a77364a1f9 PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。 
修改系统设置中的一些错误描述。
修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
 2022-10-18 10:41:32 +08:00
THINKPAD 432a413904 LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。 2022-10-15 13:01:13 +08:00
THINKPAD 51bdd935c3 interlockPM.xml中恢复DI-4. 2022-10-13 23:14:59 +08:00
THINKPAD 203042ac3c 新增软点DO-240。 
新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
DO-240绑定到PT1，当PT1超过设定值时，DO-240输出1。
 2022-10-13 23:14:59 +08:00
THINKPAD 574d4fffa7 PMInterlock中移除DI-4限制。 2022-10-13 09:37:44 +08:00
THINKPAD 6242704d6f 从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。 
修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
 2022-10-13 09:07:48 +08:00
THINKPAD 2f6d2ba0ce 直接删除interlock配置中注释掉的DI-40相关项目。 2022-10-10 14:13:51 +08:00
THINKPAD f5e859ce8c 从Interlock里移除DI-40条件。 2022-10-10 12:23:02 +08:00
THINKPAD 227fc070ac 增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC：DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。 
修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
 2022-10-10 12:07:54 +08:00
THINKPAD 1851f226e2 新增错误信息输出。 
PMChamberMoveBodyRoutine.cs中的GasConnectorTighten()方法、CheckLidTighten()方法、CheckLidSwingLock()方法中执行ExecuteAndWait()方法是，如果出错，则打印错误信息。
 2022-10-09 23:40:32 +08:00
THINKPAD bfe7c76219 IoInterLock.cs的Reset()方法中将（DO-192）DO_ReactorPressRisingRateFast置为无报警状态。 
PMModule.cs中的FsmReset()方法和FsmStartHome()方法中重置_pmInterlock对象。
 2022-10-09 23:03:52 +08:00
THINKPAD ace87057b8 PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。 
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
 2022-10-09 22:38:21 +08:00
THINKPAD 02e00cc4f0 将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。 2022-09-29 17:33:25 +08:00
THINKPAD 1a4ec78ca9 EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。 2022-09-29 12:09:18 +08:00
THINKPAD 8e5c04f034 修正TrayRobot Routine中的一些信息。 2022-09-29 11:01:13 +08:00
THINKPAD 1ff7c38cd7 修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。 2022-09-29 10:20:05 +08:00
THINKPAD b4d749b0e8 DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。 2022-09-28 11:01:42 +08:00
THINKPAD 99b9080017 整理Recipe Editor相关代码。 
删除AO-90、AO-91.
 2022-09-27 15:20:44 +08:00
THINKPAD 2239b812d1 Delete the dupliated items. 2022-09-26 16:28:12 +08:00
THINKPAD d1539b65a4 1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。 
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2，仅保留PM1。
 2022-09-26 10:49:29 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00