 THINKPAD
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372fc3798a
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恢复Unload腔SlowPump（DO-62：DO_UnloadSlowPump）时的Interlock。
Unload腔SlowPump时如果触发Interlock，输入Warning信息，而不是Alarm。
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2022-11-01 10:55:21 +08:00 |
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THINKPAD
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ff5e299843
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取消磁流体转速为0时Disable的功能。
恢复Unload腔执行SlowPump时，如果Interlock不满足，产生Alarm，而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
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2022-10-24 11:10:40 +08:00 |
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THINKPAD
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eb7c2a64f5
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修正AETemp对象Reset()方法中读取EnableLog设置时使用的配置名称。
LoadLockGroupRoutine的Monitor方法中先执行TryResetServo()以重置伺服驱动器。
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2022-10-18 16:17:19 +08:00 |
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THINKPAD
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73d0afdcec
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调整UnloadBaseRoutine中SlowPump()函数执行错误是的打印信息。
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2022-10-18 14:38:06 +08:00 |
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THINKPAD
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e6017c3033
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Unload腔执行SlowPump时DO-62（DO_UnloadSlowPump）互锁报警更改为警告。。
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2022-10-18 14:30:38 +08:00 |
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THINKPAD
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432a413904
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LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2022-10-15 13:01:13 +08:00 |
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THINKPAD
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ace87057b8
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PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
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2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
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THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
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THINKPAD
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1a4ec78ca9
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EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。
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2022-09-29 12:09:18 +08:00 |
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THINKPAD
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8e5c04f034
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修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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2022-09-29 11:01:13 +08:00 |
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THINKPAD
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1ff7c38cd7
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修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2022-09-29 10:20:05 +08:00 |
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THINKPAD
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b4d749b0e8
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DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。
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2022-09-28 11:01:42 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |