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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 48d1f50a68 修正自动传盘一些错误(仅一个Tray时)。 2022-12-26 17:54:55 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 9b205b3bf5 临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数,修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑,输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
2022-12-26 10:22:29 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 0313eecb20 [Critical Bug] 修正Auto模式下,TMRobot Routine错误后,SchedulerTMRobot中的CheckTaskDone函数仍返回false,导致Monitor无法执行的问题。
修正UnLoad无法执行取Wafer后的Purge的问题。
修正UnLoad执行过程中Separate状态被意外重置导致卡死在取Wafer步骤的问题。[Separate意外重置的问题未解决]
2022-12-25 10:52:25 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ca573ac511 Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
2022-11-23 13:27:23 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00