 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正自动传盘一些错误（仅一个Tray时）。
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2022-12-26 17:54:55 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数，修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑，输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
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2022-12-26 10:22:29 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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[Critical Bug] 修正Auto模式下，TMRobot Routine错误后，SchedulerTMRobot中的CheckTaskDone函数仍返回false，导致Monitor无法执行的问题。
修正UnLoad无法执行取Wafer后的Purge的问题。
修正UnLoad执行过程中Separate状态被意外重置导致卡死在取Wafer步骤的问题。[Separate意外重置的问题未解决]
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2022-12-25 10:52:25 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正 SchedulerWaferRobot和 SchedulerTrayRobot 的CheckTaskDone函数判断逻辑，避免Vent时也判断为Task结束。
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2022-12-24 13:02:09 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。
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2022-12-20 16:00:11 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
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THINKPAD
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |