 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。
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2022-11-17 10:31:18 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。
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2022-11-14 09:22:13 +08:00 |
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THINKPAD
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |