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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD ed868ddf53 修正AutoTransfer中的UnLoad执行CoolingAndPurge Routine的问题。
UnLoad开始CoolingAndPurge时,SchUnLoad.IsPumping仍然返回false,可能引发其它异常。
2023-01-06 14:08:48 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 48d1f50a68 修正自动传盘一些错误(仅一个Tray时)。 2022-12-26 17:54:55 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 9b205b3bf5 临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数,修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑,输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
2022-12-26 10:22:29 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 339b56e06d 新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
2022-11-23 09:24:24 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。

增加新类DeviceLocker。

SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。

TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
2022-11-16 14:18:05 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 331702a0d8 AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
2022-11-15 17:18:13 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00