 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正AutoTransfer中的UnLoad执行CoolingAndPurge Routine的问题。
UnLoad开始CoolingAndPurge时，SchUnLoad.IsPumping仍然返回false，可能引发其它异常。
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2023-01-06 14:08:48 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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临时发行v1.0.5.60
优化各个Scheduler的CheckTaskDone函数，修正调度器可能无任何动作的问题。
延长EFEM关LL和UL闸板阀后的延时。
取消WaferRobot和TrayRobot Pick/Place Routine最后的延时。
优化LL检查翘曲的逻辑，输出详细Log用于排查翘曲和CCD同时校验会出错的问题。
增加LL、UL、TM Purge Routine中Vent前的延时。
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2022-12-26 10:22:29 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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整理SchedulerModuleFactory格式和变量名。
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2022-12-25 11:11:55 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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[Critical Bug] 修正Auto模式下，TMRobot Routine错误后，SchedulerTMRobot中的CheckTaskDone函数仍返回false，导致Monitor无法执行的问题。
修正UnLoad无法执行取Wafer后的Purge的问题。
修正UnLoad执行过程中Separate状态被意外重置导致卡死在取Wafer步骤的问题。[Separate意外重置的问题未解决]
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2022-12-25 10:52:25 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑，当Wafer进入UnLoad后随即开始计时，直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中，已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad，并且Load有盘准备让TMRobot拿时，系统冲突无动作的问题。
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2022-11-24 09:15:38 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定，当Sequence中的Cooling时间不可用时，回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机，Group后总是Purge，但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器，修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时，判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制，已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时，解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作，Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
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THINKPAD
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |