 THINKPAD
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b91d4ebdbd
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修正PMInterlock中DI-78/79/84/85的限制电平。
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2022-10-18 11:44:15 +08:00 |
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THINKPAD
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a77364a1f9
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PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
修改系统设置中的一些错误描述。
修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
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2022-10-18 10:41:32 +08:00 |
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THINKPAD
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432a413904
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LoadLockGroupRoutine.cs增加自动复位伺服功能。
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2022-10-15 13:01:13 +08:00 |
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THINKPAD
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51bdd935c3
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interlockPM.xml中恢复DI-4.
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2022-10-13 23:14:59 +08:00 |
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THINKPAD
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203042ac3c
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新增软点DO-240。
新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
DO-240绑定到PT1，当PT1超过设定值时，DO-240输出1。
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2022-10-13 23:14:59 +08:00 |
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THINKPAD
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574d4fffa7
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PMInterlock中移除DI-4限制。
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2022-10-13 09:37:44 +08:00 |
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THINKPAD
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6242704d6f
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从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。
修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
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2022-10-13 09:07:48 +08:00 |
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THINKPAD
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2f6d2ba0ce
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直接删除interlock配置中注释掉的DI-40相关项目。
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2022-10-10 14:13:51 +08:00 |
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THINKPAD
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f5e859ce8c
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从Interlock里移除DI-40条件。
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2022-10-10 12:23:02 +08:00 |
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THINKPAD
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227fc070ac
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增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC：DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
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2022-10-10 12:07:54 +08:00 |
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THINKPAD
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1851f226e2
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新增错误信息输出。
PMChamberMoveBodyRoutine.cs中的GasConnectorTighten()方法、CheckLidTighten()方法、CheckLidSwingLock()方法中执行ExecuteAndWait()方法是，如果出错，则打印错误信息。
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2022-10-09 23:40:32 +08:00 |
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THINKPAD
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bfe7c76219
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IoInterLock.cs的Reset()方法中将（DO-192）DO_ReactorPressRisingRateFast置为无报警状态。
PMModule.cs中的FsmReset()方法和FsmStartHome()方法中重置_pmInterlock对象。
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2022-10-09 23:03:52 +08:00 |
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THINKPAD
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ace87057b8
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PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string，直接输出信息，使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
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2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
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THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
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THINKPAD
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1a4ec78ca9
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EFEM模组中的Wafer Robot和Tray Robot在Init状态下也可单独进行Home。
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2022-09-29 12:09:18 +08:00 |
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THINKPAD
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8e5c04f034
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修正TrayRobot Routine中的一些信息。
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2022-09-29 11:01:13 +08:00 |
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THINKPAD
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1ff7c38cd7
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修正Pick/Place Tray报错时显示的Slot编号比实际编号小1的问题。
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2022-09-29 10:20:05 +08:00 |
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THINKPAD
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b4d749b0e8
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DI-32、DI-39、DI-40报警类型更改为Warning。
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2022-09-28 11:01:42 +08:00 |
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THINKPAD
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99b9080017
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整理Recipe Editor相关代码。
删除AO-90、AO-91.
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2022-09-27 15:20:44 +08:00 |
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THINKPAD
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2239b812d1
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Delete the dupliated items.
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2022-09-26 16:28:12 +08:00 |
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THINKPAD
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d1539b65a4
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1.修正切换页面时，Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2，仅保留PM1。
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2022-09-26 10:49:29 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |