PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查 2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable