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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD fd1fc148f8 修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。

增加新类DeviceLocker。

SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。

TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
2022-11-16 14:18:05 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD 331702a0d8 AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
2022-11-15 17:18:13 +08:00
THINKPAD 8515476acb Add project files. 2022-09-19 09:16:33 +08:00