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Author	SHA1	Message	Date
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	0fe32dc53e	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,	2022-11-14 16:42:44 +08:00
THINKPAD	02e00cc4f0	将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。	2022-09-29 17:33:25 +08:00
THINKPAD	8515476acb	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00