 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
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THINKPAD
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2947d70fa2
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移除龙工修改的Recipe相关的代码，（验证后在推入主线）
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2022-11-04 09:52:35 +08:00 |
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THINKPAD
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a48bf32371
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Update from SVN.
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2022-11-02 23:47:56 +08:00 |
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THINKPAD
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bd58a9dd84
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PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后，等待设定的时间。
版本更新到v1.0.0.25
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2022-10-31 18:45:21 +08:00 |
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THINKPAD
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7494a9e644
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新增软DO-186/187，以及其相关控制逻辑。
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2022-10-24 13:47:42 +08:00 |
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THINKPAD
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d105d0c452
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Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
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2022-10-19 10:39:00 +08:00 |
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THINKPAD
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1851f226e2
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新增错误信息输出。
PMChamberMoveBodyRoutine.cs中的GasConnectorTighten()方法、CheckLidTighten()方法、CheckLidSwingLock()方法中执行ExecuteAndWait()方法是，如果出错，则打印错误信息。
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2022-10-09 23:40:32 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |