DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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d168e75884
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版本号升级至v1.0.2.38
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2022-11-25 16:49:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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c7a7068f2d
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修正Overview界面Cassette中修改Wafer ID后,数据库没有同步修改的问题。
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2022-11-25 16:42:56 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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cef508a106
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新增修改WaferID的功能。
新增Overview界面Job创建窗口中的Wafer列表中显示WaferID+SequenceName。
修正Overview界面中Wafer右键菜单Alert Info的IsEnabled状态,无Wafer时禁用此菜单项。
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2022-11-25 16:11:55 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ef91b9d709
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移除RobotBase对象中fPlaceComplete和fPickComplete函数中的延时,以解决WaferRobot错误的问题。
修改System.Scheduler:GroupWaferBySequence的默认值为false,允许针对单个Wafer修改Recipe。
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2022-11-25 13:42:24 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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92e95897ec
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上银Aligner优化。
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2022-11-25 11:55:55 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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c93a81e586
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版本更新到v1.0.2.36
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2022-11-24 16:26:27 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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92f36d318e
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AutoTransfer中Load任务中增加注释。
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2022-11-24 13:44:31 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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98cab1dd78
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修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
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2022-11-24 13:34:37 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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205591db51
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修正SicRT编译时本地的测试账号会部署到客户端的问题。
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2022-11-24 11:11:38 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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b8d715d66b
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版本升级至v1.0.2.35
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2022-11-24 10:59:37 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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95c779cf76
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修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。
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2022-11-24 09:15:38 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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4589fa3b39
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BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。
修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
调整AutoTransfer的UnLoad逻辑,如果Load中有盘准备传入TM,则禁止处理UnLoad任务。
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2022-11-23 22:53:50 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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da3e31b12d
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主程序版本升级至v1.0.2.34
Simulator版本升级至v1.7.2.2
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2022-11-23 17:32:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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a562f2cd3a
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优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。
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2022-11-23 14:43:14 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ca573ac511
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fafa211f0c
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修正AutoTransfer和ReturenAllWafer中没有正确读取UnLoad Purge PumpDelay参数的问题。
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2022-11-23 10:30:03 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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9b7a7fea15
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优化Sequence中UnLoad Purge参数的名称。
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2022-11-23 10:27:04 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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eea091a572
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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339b56e06d
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f6035fb5cc
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Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。
优化传盘逻辑,测试正常。
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2022-11-22 18:04:20 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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8ec29a9fa3
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修正TMRobotPlaceRoutine中没有正确关闭闸板阀的问题。
需求文件更新。
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2022-11-21 20:33:57 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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88379f8831
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取消TM Place后的Purge。
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2022-11-21 14:53:03 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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81445c130c
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Update from SVN.
修正Aligner无法Home的问题。
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2022-11-19 15:32:12 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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8dea28be9c
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升级版本号到v1.0.1.30
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2022-11-18 18:14:26 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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bf5f38f5ca
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版本号升级。
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2022-11-18 15:18:16 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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511c0a2a07
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以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。
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2022-11-18 15:07:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f5320327c2
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增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
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2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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e9651ccfe3
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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6574353eb6
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SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。
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2022-11-17 10:31:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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b247ae94c1
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修改ReturnAllWafer中的拼写错误。
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2022-11-17 09:58:59 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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84fc071e5d
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优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时,给出警告。
2.重写UnLoad流程,增加Purge
优化AutoTransfer中的变量名。
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2022-11-16 17:19:06 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fd1fc148f8
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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331702a0d8
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AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0844e57da7
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SicRT输出xml格式log的滚动周期从300天改为90天。
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2022-11-14 09:23:15 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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6b57315404
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从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。
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2022-11-14 09:22:13 +08:00 |
THINKPAD
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2947d70fa2
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移除龙工修改的Recipe相关的代码,(验证后在推入主线)
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2022-11-04 09:52:35 +08:00 |
THINKPAD
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002a11be96
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Merge branch '123'
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2022-11-04 09:50:57 +08:00 |
THINKPAD
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27d8baff42
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更新需求文件。
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2022-11-04 09:22:55 +08:00 |
THINKPAD
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a48bf32371
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Update from SVN.
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2022-11-02 23:47:56 +08:00 |
THINKPAD
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1819f01e8b
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PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。
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2022-11-02 16:06:30 +08:00 |
THINKPAD
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8d1301a0e9
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更新Alarm配置清单。
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2022-11-02 09:35:04 +08:00 |
THINKPAD
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82bdf2e367
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更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
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2022-11-01 15:38:35 +08:00 |
THINKPAD
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bd58a9dd84
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PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后,等待设定的时间。
版本更新到v1.0.0.25
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2022-10-31 18:45:21 +08:00 |
THINKPAD
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7b783501f7
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添加AE读取温度间隔时间配置项。
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2022-10-28 22:59:18 +08:00 |
THINKPAD
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069869c266
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修正PM气体总流量统计。
修正基恩士相机无法设置图片文件名的问题。
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2022-10-28 15:58:54 +08:00 |
THINKPAD
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81cc704370
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修正RecipeStep复制时比例值未被复制的问题。
版本更新到v1.0.0.21
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2022-10-27 09:01:49 +08:00 |
THINKPAD
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23f35128a2
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更新Issues清单。
版本更新至v1.0.0.20
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2022-10-25 15:36:46 +08:00 |
THINKPAD
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ff5e299843
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取消磁流体转速为0时Disable的功能。
恢复Unload腔执行SlowPump时,如果Interlock不满足,产生Alarm,而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
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2022-10-24 11:10:40 +08:00 |
THINKPAD
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c00d2b4c14
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版本升级到v1.0.0.18
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2022-10-21 17:30:13 +08:00 |