1.PM Rotation取消ServoReady信号检查 2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
PMChamberMoveBodyRoutine.cs中的GasConnectorTighten()方法、CheckLidTighten()方法、CheckLidSwingLock()方法中执行ExecuteAndWait()方法是,如果出错,则打印错误信息。