DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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331702a0d8
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AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
THINKPAD
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27d8baff42
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更新需求文件。
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2022-11-04 09:22:55 +08:00 |
THINKPAD
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1819f01e8b
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PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。
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2022-11-02 16:06:30 +08:00 |
THINKPAD
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7b783501f7
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添加AE读取温度间隔时间配置项。
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2022-10-28 22:59:18 +08:00 |
THINKPAD
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dd8e525888
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恢复PM DI-345.
移除DO-240.
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2022-10-18 14:43:48 +08:00 |
THINKPAD
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a77364a1f9
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PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
修改系统设置中的一些错误描述。
修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
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2022-10-18 10:41:32 +08:00 |
THINKPAD
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cd0f6ca5c1
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IoProviderConfig.xml中增加针对VirtualIoProvider的配置。[未生效,仍在调试]
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2022-10-15 13:01:14 +08:00 |
THINKPAD
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203042ac3c
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新增软点DO-240。
新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
DO-240绑定到PT1,当PT1超过设定值时,DO-240输出1。
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2022-10-13 23:14:59 +08:00 |
THINKPAD
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PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string,直接输出信息,使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
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2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
THINKPAD
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Recipe Editor 中的Validate按钮增加错误数量的Badge。
默认关闭PM2.
默认正常显示Recipe数值。
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2022-09-27 17:29:13 +08:00 |
THINKPAD
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d1539b65a4
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1.修正切换页面时,Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2,仅保留PM1。
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2022-09-26 10:49:29 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |