DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
88379f8831
|
取消TM Place后的Purge。
|
2022-11-21 14:53:03 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
81445c130c
|
Update from SVN.
修正Aligner无法Home的问题。
|
2022-11-19 15:32:12 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
8dea28be9c
|
升级版本号到v1.0.1.30
|
2022-11-18 18:14:26 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
bf5f38f5ca
|
版本号升级。
|
2022-11-18 15:18:16 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
511c0a2a07
|
以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。
|
2022-11-18 15:07:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
f5320327c2
|
增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
|
2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
e9651ccfe3
|
AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
|
2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
6574353eb6
|
SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。
|
2022-11-17 10:31:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
b247ae94c1
|
修改ReturnAllWafer中的拼写错误。
|
2022-11-17 09:58:59 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
84fc071e5d
|
优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时,给出警告。
2.重写UnLoad流程,增加Purge
优化AutoTransfer中的变量名。
|
2022-11-16 17:19:06 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
fd1fc148f8
|
修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
|
2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
331702a0d8
|
AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
|
2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
0fe32dc53e
|
调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
|
2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
0844e57da7
|
SicRT输出xml格式log的滚动周期从300天改为90天。
|
2022-11-14 09:23:15 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
|
6b57315404
|
从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。
|
2022-11-14 09:22:13 +08:00 |
THINKPAD
|
2947d70fa2
|
移除龙工修改的Recipe相关的代码,(验证后在推入主线)
|
2022-11-04 09:52:35 +08:00 |
THINKPAD
|
002a11be96
|
Merge branch '123'
|
2022-11-04 09:50:57 +08:00 |
THINKPAD
|
27d8baff42
|
更新需求文件。
|
2022-11-04 09:22:55 +08:00 |
THINKPAD
|
a48bf32371
|
Update from SVN.
|
2022-11-02 23:47:56 +08:00 |
THINKPAD
|
1819f01e8b
|
PM1.Operation页面MFC流量显示增加权限控制。
|
2022-11-02 16:06:30 +08:00 |
THINKPAD
|
8d1301a0e9
|
更新Alarm配置清单。
|
2022-11-02 09:35:04 +08:00 |
THINKPAD
|
82bdf2e367
|
更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
|
2022-11-01 15:38:35 +08:00 |
THINKPAD
|
bd58a9dd84
|
PMProcessAbortRoutine中Mfc开始Ramp后,等待设定的时间。
版本更新到v1.0.0.25
|
2022-10-31 18:45:21 +08:00 |
THINKPAD
|
7b783501f7
|
添加AE读取温度间隔时间配置项。
|
2022-10-28 22:59:18 +08:00 |
THINKPAD
|
069869c266
|
修正PM气体总流量统计。
修正基恩士相机无法设置图片文件名的问题。
|
2022-10-28 15:58:54 +08:00 |
THINKPAD
|
81cc704370
|
修正RecipeStep复制时比例值未被复制的问题。
版本更新到v1.0.0.21
|
2022-10-27 09:01:49 +08:00 |
THINKPAD
|
23f35128a2
|
更新Issues清单。
版本更新至v1.0.0.20
|
2022-10-25 15:36:46 +08:00 |
THINKPAD
|
ff5e299843
|
取消磁流体转速为0时Disable的功能。
恢复Unload腔执行SlowPump时,如果Interlock不满足,产生Alarm,而不是Warning。
删除TM/Interlock/DO-62的DI-8限制条件。
|
2022-10-24 11:10:40 +08:00 |
THINKPAD
|
c00d2b4c14
|
版本升级到v1.0.0.18
|
2022-10-21 17:30:13 +08:00 |
THINKPAD
|
44b18ec135
|
版本更新到v1.0.0.17
|
2022-10-19 16:12:46 +08:00 |
THINKPAD
|
d105d0c452
|
Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
|
2022-10-19 10:39:00 +08:00 |
THINKPAD
|
c4fd8bb828
|
版本更新至v1.0.0.15
|
2022-10-18 17:14:32 +08:00 |
THINKPAD
|
1fbe694c45
|
模拟器的io配置中恢复DI-345
|
2022-10-18 16:57:38 +08:00 |
THINKPAD
|
dd8e525888
|
恢复PM DI-345.
移除DO-240.
|
2022-10-18 14:43:48 +08:00 |
THINKPAD
|
24c81e8ac3
|
从svn更新。
修正AE测温连接超时问题。
|
2022-10-18 13:40:43 +08:00 |
THINKPAD
|
b91d4ebdbd
|
修正PMInterlock中DI-78/79/84/85的限制电平。
|
2022-10-18 11:44:15 +08:00 |
THINKPAD
|
a77364a1f9
|
PM Interlock增加DI-84\85\86\87限制。
修改系统设置中的一些错误描述。
修改系统设置中MFC32的最大值和默认值。
PMMotion界面中恢复隔热罩Jog功能。
Recipe Editor中始终使能Refresh列表按钮。
|
2022-10-18 10:41:32 +08:00 |
THINKPAD
|
1103ef6de1
|
更新到v1.0.0.11
|
2022-10-15 13:01:46 +08:00 |
THINKPAD
|
cf6c1829bc
|
版本更新至v1.0.0.10
|
2022-10-15 13:01:14 +08:00 |
THINKPAD
|
cd0f6ca5c1
|
IoProviderConfig.xml中增加针对VirtualIoProvider的配置。[未生效,仍在调试]
|
2022-10-15 13:01:14 +08:00 |
THINKPAD
|
2a2e9d2286
|
更新版本到v1.0.0.9
|
2022-10-13 23:20:40 +08:00 |
THINKPAD
|
203042ac3c
|
新增软点DO-240。
新增系统配置项PM.PressureAboveATMSW。
DO-240绑定到PT1,当PT1超过设定值时,DO-240输出1。
|
2022-10-13 23:14:59 +08:00 |
THINKPAD
|
19561cd0cf
|
优化CreateJob函数中校验Sequence错误时的输出信息。
|
2022-10-13 22:04:38 +08:00 |
THINKPAD
|
27178f2189
|
版本升级到v1.0.0.8
|
2022-10-13 09:40:56 +08:00 |
THINKPAD
|
6242704d6f
|
从PMMotionView界面中ConfinementRing卡片中删除任意距离上升下降功能。
修正TMLeakCheckHistory中条目重复的问题。
|
2022-10-13 09:07:48 +08:00 |
THINKPAD
|
f5e859ce8c
|
从Interlock里移除DI-40条件。
|
2022-10-10 12:23:02 +08:00 |
THINKPAD
|
227fc070ac
|
增加下述虚拟DO用于产生报警输出给PLC:DO_TC1PyroWarnMaxDiff、DO_TC1AeTempRaisingFast、DO_TC2PyroWarnMaxDiff、DO_TC2AeTempRaisingFast。
修正RecipeFormat.xml中列61和64的编号显示错误。
|
2022-10-10 12:07:54 +08:00 |
THINKPAD
|
8dd6e04a08
|
版本更新至v1.0.0.5
|
2022-10-09 23:44:50 +08:00 |
THINKPAD
|
ace87057b8
|
PMMotionViewModel.cs中的函數签名改为out string,直接输出信息,使信息更加准确。
优化IoInterlock.cs中函数SetPressureRisingUpRate()的语法。
系统设置中的项目LidEnableOpenAfterHeatDisbaleMinuts的单位改为分钟。
|
2022-10-09 22:38:21 +08:00 |
THINKPAD
|
02e00cc4f0
|
将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
|
2022-09-29 17:33:25 +08:00 |