DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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98cab1dd78
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修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
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2022-11-24 13:34:37 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ca573ac511
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
THINKPAD
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d1539b65a4
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1.修正切换页面时,Sequence Editor报“未保存”对话框的问题。
2.Recipe Editor和Sequence Editor中屏蔽PM2,仅保留PM1。
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2022-09-26 10:49:29 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |