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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	4c7aa1ef93	修正LoadLockPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。 ... 修正UnLoadPurgeRoutine中执行_tmIoInterLock.DoLLCyclePurgeRoutineRunning = false引发的互锁错误。 修正SimulatorSystem中充气速率，避免仿真时反复执行PrepareTransfer。	2022-11-22 11:57:23 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	2f04489b1d	修正模拟器中UnLoad Vent的气体流速。	2022-11-18 15:54:07 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	0fe32dc53e	调整Load腔Purge逻辑，自动判断Tray的来源，并在恰当时机进行Purge。 ... PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中，强制每次均升起隔热罩。 修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。 下述Routine中增加延时，已确保收到正确的DI信号：UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,	2022-11-14 16:42:44 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	12c0324c79	修改模拟器支持的模拟速率。	2022-11-14 09:20:53 +08:00
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD	41e5539848	模拟器增加模拟速度设置。	2022-11-12 23:10:04 +08:00
THINKPAD	1d3fa65d1e	Simulator中增加V124打开时Unload/TM压力平衡过程模拟。 ... 优化TMSlitValveRoutine函数异常时的错误信息，输出信息中增加出错的函数名。	2022-11-10 16:12:23 +08:00
THINKPAD	a48bf32371	Update from SVN.	2022-11-02 23:47:56 +08:00
THINKPAD	8515476acb	Add project files.	2022-09-19 09:16:33 +08:00