 DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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a562f2cd3a
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优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。
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2022-11-23 14:43:14 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fafa211f0c
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修正AutoTransfer和ReturenAllWafer中没有正确读取UnLoad Purge PumpDelay参数的问题。
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2022-11-23 10:30:03 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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eea091a572
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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b247ae94c1
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修改ReturnAllWafer中的拼写错误。
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2022-11-17 09:58:59 +08:00 |
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DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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84fc071e5d
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优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时，给出警告。
2.重写UnLoad流程，增加Purge
优化AutoTransfer中的变量名。
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2022-11-16 17:19:06 +08:00 |
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THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |