DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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将WaferRobot和TrayRobot的控制逻辑从EFEM中分离出来。
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2022-12-20 16:00:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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移除Sequence中Buffer槽位的限制。
AutoTransfer中的UnLoad任务新增Wafer判断,如果WaferRobot、Aligner或Load任意模组上有需要做工艺的Wafer,则不执行UnLoad任务。
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2022-12-16 15:27:04 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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SchedulerAligner新增HasAligned属性。
自动传盘流程新增Aligner是否已Aligner检查。
调整WaferRobot和Aligner之间的传盘逻辑,避免做完的Wafer反复在Aligner上取放。
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2022-12-16 10:42:04 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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1.修正自动流程中PM完成后无法往UnLoad传盘的问题。
2.调整主界面各个模块的状态的字体。
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2022-12-09 18:07:25 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正自动传盘时,如果只有一个Tray盘可用,则会卡在UnLoad的问题。
修正PMProcessView页面无法加载Recipe的问题。
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2022-12-09 09:15:29 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正程序升级后没有Recipe.Behaviour.相关权限的问题。
所有模块支持Offline超时提醒功能。
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2022-12-07 21:15:14 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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优化自动传盘逻辑,并修改一些Bug。
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2022-12-07 13:43:00 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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优化AutoTransfer逻辑,TMRobot不再提前拿盘。
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2022-12-07 07:12:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正AutoTransfer中MonitorUnLoadTask函数中检测正在运行的Wafer总数的计算方法。
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2022-11-28 14:29:45 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正Overview界面Cassette中修改Wafer ID后,数据库没有同步修改的问题。
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2022-11-25 16:42:56 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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新增修改WaferID的功能。
新增Overview界面Job创建窗口中的Wafer列表中显示WaferID+SequenceName。
修正Overview界面中Wafer右键菜单Alert Info的IsEnabled状态,无Wafer时禁用此菜单项。
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2022-11-25 16:11:55 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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AutoTransfer中Load任务中增加注释。
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2022-11-24 13:44:31 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修改TrayRobot和WaferRobot状态名称,使其更简短。
修改AutoTransfer中如果Buffer中有两个以上ProcessCount为0的Tray时,第一个Tray进入Load后,无法进行后续动作的问题。
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2022-11-24 13:34:37 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正EfemBaseRoutine中Module属性为null导致无法正常输出Alarm信息的问题。
新增UnLoad腔从CoolingAndPurge切换Online、Offline的功能。
优化UnLoad CoolingAndPurge逻辑,当Wafer进入UnLoad后随即开始计时,直到CoolingAndPurge开始的这段时间均统计到Cooling时长中,已提高效率。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中未正确处理最后一片Wafer的问题。
修正AutoTransfer中UnLoad任务中当TMRobot拿盘准备放入UnLoad,并且Load有盘准备让TMRobot拿时,系统冲突无动作的问题。
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2022-11-24 09:15:38 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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BaseRoutineWithDeviceLocker类中的LockPump2函数默认超时改为30分钟。
修正UnLoadBaseRoutine的SlowPump()函数错误锁定Pump2的问题。
调整AutoTransfer的UnLoad逻辑,如果Load中有盘准备传入TM,则禁止处理UnLoad任务。
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2022-11-23 22:53:50 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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优化ReturnAllWafer中UnLoad腔Purge的逻辑。
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2022-11-23 14:43:14 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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ca573ac511
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Sequence增加Buffer腔Purge次数参数。
当TMRobot向Buffer放盘后,可根据Sequence中的配置进行Purge。
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2022-11-23 13:27:23 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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修正AutoTransfer和ReturenAllWafer中没有正确读取UnLoad Purge PumpDelay参数的问题。
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2022-11-23 10:30:03 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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UnLoad腔Purge参数设定从系统Configuration移至Sequence。
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2022-11-23 10:24:01 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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339b56e06d
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新增UnLoad模块CoolingAndPurgeRoutine。
系统配置中新增默认的CoolingAndPurgeRoutine中的Cooling时间设定,当Sequence中的Cooling时间不可用时,回落到UnLoad\CoolingTimeFallback设定值。
修正TMView视图中的CoolingTime显示。
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2022-11-23 09:24:24 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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f6035fb5cc
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Load腔Purge逻辑修改,无论Tray来自哪里,均只Purge一次。
优化传盘逻辑,测试正常。
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2022-11-22 18:04:20 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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511c0a2a07
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以Routine为最小锁定单元锁定Pump2。
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2022-11-18 15:07:11 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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增加设备锁。
Load和UnLoad在SlowPump时可以锁定Pump2.
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2022-11-18 12:22:48 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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e9651ccfe3
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AutoTransfer优化。
调整LoadLock腔Purge时机,Group后总是Purge,但放Wafer后是否Purge取决于Tray的来源。
修正WaferRobot和TrayRobot IsAvailable属性计算方法。
LoadLock和UnLoad开始Purge或PrepareTransfer之前增加TMRobot是否使用Pump的判断。
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2022-11-17 18:01:52 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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6574353eb6
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SchedulerLoadLock中增加Wafer Place以后的Purge标记。
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2022-11-17 10:31:18 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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b247ae94c1
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修改ReturnAllWafer中的拼写错误。
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2022-11-17 09:58:59 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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84fc071e5d
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优化ReturnAllWafer。
1.当Wafer机械手上的Wafer来源不明时,给出警告。
2.重写UnLoad流程,增加Purge
优化AutoTransfer中的变量名。
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2022-11-16 17:19:06 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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fd1fc148f8
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修改和优化AutoTransfer。
增加触发器,修正Load/UnLoad同时Pump的异常发生时不断输出报警信息的问题。
当Load/UnLoad进行Purge或PrepareTransfer时,判断UnLoad/Load是否正在使用真空泵。
增加新类DeviceLocker。
SchedulerLoadLock和SchedulerUnLoad中增加锁机制,已避免潜在的多线程问题。
TMPressureBalanceRoutine和TMSlitValveRoutine中增加必要的延时,解决使用模拟器时DI未及时刷新导致的Interlock问题。
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2022-11-16 14:18:05 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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331702a0d8
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AutoTransfer中新增从UnLoad取Wafer前的Purge动作,Purge循环次数可配置。
SchedulerUnLoad中增加取Wafer前的Purge操作函数。
UnLoad\Purge系统配置中新增项目。
更新需求文档。
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2022-11-15 17:18:13 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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0fe32dc53e
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调整Load腔Purge逻辑,自动判断Tray的来源,并在恰当时机进行Purge。
PMPostTransferRoutine的Monitor()函数中,强制每次均升起隔热罩。
修正Mainframe界面中没有正确显示Load、UnLoad腔Purge次数的问题。
下述Routine中增加延时,已确保收到正确的DI信号:UnLoadPrepareTransferRoutine,TMPumpRoutine,LoadLockPumpRoutine, LoadLockPrepareTransferRoutine,
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2022-11-14 16:42:44 +08:00 |
DESKTOP-GPE37UV\THINKAPD
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6b57315404
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从SchedulerLoadLock中移除SeparateWaferTray()和CheckWaferTraySeparated()的实现。
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2022-11-14 09:22:13 +08:00 |
THINKPAD
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82bdf2e367
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更新需求文件。
版本更新到v1.0.0.26
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2022-11-01 15:38:35 +08:00 |
THINKPAD
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d105d0c452
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Update from svn.
1.PM Rotation取消ServoReady信号检查
2.PM Rotation转速为0后Disable,大于0后再Enable
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2022-10-19 10:39:00 +08:00 |
THINKPAD
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24c81e8ac3
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从svn更新。
修正AE测温连接超时问题。
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2022-10-18 13:40:43 +08:00 |
THINKPAD
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19561cd0cf
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优化CreateJob函数中校验Sequence错误时的输出信息。
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2022-10-13 22:04:38 +08:00 |
THINKPAD
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02e00cc4f0
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将各个模块的Routine对象放在Routines目录下。
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2022-09-29 17:33:25 +08:00 |
THINKPAD
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8515476acb
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Add project files.
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2022-09-19 09:16:33 +08:00 |